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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

[求助] 磁控溅射制备的Ni-Cr薄膜在后制程中氧化了,该怎么办?求高手解答!!! 已有2人参与

如题:用磁控溅射方法制备的Ni-Cr薄膜后制程中有600℃的高温,然后薄膜氧化了,导致阻抗明显升高,请问这个问题怎么解决啊?
谢谢!!!请高手帮我解答一下!!!
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

引用回帖:
4楼: Originally posted by ~金蘑菇~ at 2015-07-06 16:36:18
破真空后的下一个步骤,做了另一个涂覆层,需要600℃的高温,高温处理后Ni-Cr层就氧化了,阻抗会变得比较大,现有条件无法完成真空内处理啊...

氧化的话应该也是表面一层,是否可以将薄膜厚度稍微做厚一点,在下一个涂覆层前,将表层氧化层处理掉
用绳命来搞科研
7楼2015-07-07 16:00:18
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

帖子沉了。自己顶起来求高手解答!!!
2楼2015-07-06 14:00:41
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钦点木瓜

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
~金蘑菇~: 金币+1, 有帮助, 感谢帮助!!!O(∩_∩)O谢谢 2015-07-08 13:54:41
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理?建议是整个过程都在真空环境中进行,不要拿出来
用绳命来搞科研
3楼2015-07-06 14:35:34
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~金蘑菇~

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by 钦点木瓜 at 2015-07-06 14:35:34
你后续的600℃高温时破真空后处理还是直接处理?建议是整个过程都在真空环境中进行,不要拿出来

破真空后的下一个步骤,做了另一个涂覆层,需要600℃的高温,高温处理后Ni-Cr层就氧化了,阻抗会变得比较大,现有条件无法完成真空内处理啊
4楼2015-07-06 16:36:18
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