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急求Al2O3薄膜的XRD衍射图
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evanbossccp
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性别: GG
专业: 半导体材料
[
求助
]
急求Al2O3薄膜的XRD衍射图
各位牛人,本人在单晶硅上磁控溅射沉积了一层Al2O3薄膜,该膜是非晶结构,用XRD测试会出现Al2O3非晶包(峰),实验室的XRD出问题了,自己没能测试出来,要急着写个项目中期检查,有做个这方面工作的前辈,可以分享个Al2O3薄膜的XRD衍射图吗,图清晰点,或者直接给.raw的数据,万分感谢!
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2015-06-24 21:17:34
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