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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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好人平安一生

银虫 (初入文坛)

[求助] 是否有纳米级厚的绝缘材料? 已有1人参与

请教,是否有纳米级厚的绝缘材料?最好能通过化学沉积方式实现。
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好人平安一生

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by huapingl123 at 2015-06-25 09:42:53
有的,虽然我没有做过,但是我用的10nm厚度的HfO2还有ZrO2就是找同学帮我用ALD沉积的~

试过多孔材料吗
6楼2015-06-25 13:03:50
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查看全部 9 个回答

粘液819

木虫 (正式写手)

肯定有啊,不然做high K的虫子怎么混啊。。。怎么做的都有,查查吧
123
2楼2015-06-24 13:09:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Liquid-Phase Deposition(LPD),是专为制备氧化物薄膜而发展起来的液相外延技术。基本原理是从金属氟化物的水溶液中生成氧化物薄膜的方法,通过添加水、硼酸或者金属Al,使金属氟化物缓慢水解。其中水直接促使生成氧化物,硼酸和铝作为氟离子的捕获剂,促进水解,从而使金属氧化物沉积在基体表面。该法要求对水解反应以及溶液的过饱和度有很好的控制。另外,薄膜的形成过程是在强酸性的溶液中进行的。当前,已可以采用LPD沉积的金属的氧化物有:Ti、Sn、Zr、V、Cd、Zn、Ni、Fe、Al等。纯氧化铝薄膜应该是绝缘体,因此,楼主的问题应该有肯定的答案。
另外,绝缘与否与加在材料两边的电压的高低有直接关系吧。那么它的击穿电压是多少呢?
3楼2015-06-24 14:18:20
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好人平安一生

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2015-06-24 14:18:20
Liquid-Phase Deposition(LPD),是专为制备氧化物薄膜而发展起来的液相外延技术。基本原理是从金属氟化物的水溶液中生成氧化物薄膜的方法,通过添加水、硼酸或者金属Al,使金属氟化物缓慢水解。其中水直接促使生成氧 ...

非常感谢楼主专业答复,我希望的击穿电压200--250V,当然越高越好
4楼2015-06-24 14:31:44
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