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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 是否有纳米级厚的绝缘材料？
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好人平安一生

银虫 (初入文坛)

[求助] 是否有纳米级厚的绝缘材料？ 已有1人参与

请教，是否有纳米级厚的绝缘材料？最好能通过化学沉积方式实现。
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1楼 2015-06-24 08:21:02
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好人平安一生

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by peterflyer at 2015-06-24 14:18:20
Liquid-Phase Deposition(LPD)，是专为制备氧化物薄膜而发展起来的液相外延技术。基本原理是从金属氟化物的水溶液中生成氧化物薄膜的方法，通过添加水、硼酸或者金属Al，使金属氟化物缓慢水解。其中水直接促使生成氧 ...

非常感谢楼主专业答复，我希望的击穿电压200--250V，当然越高越好
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4楼2015-06-24 14:31:44
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粘液819

木虫 (正式写手)
肯定有啊，不然做high K的虫子怎么混啊。。。怎么做的都有，查查吧
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123
2楼2015-06-24 13:09:06
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
Liquid-Phase Deposition(LPD)，是专为制备氧化物薄膜而发展起来的液相外延技术。基本原理是从金属氟化物的水溶液中生成氧化物薄膜的方法，通过添加水、硼酸或者金属Al，使金属氟化物缓慢水解。其中水直接促使生成氧化物，硼酸和铝作为氟离子的捕获剂，促进水解，从而使金属氧化物沉积在基体表面。该法要求对水解反应以及溶液的过饱和度有很好的控制。另外，薄膜的形成过程是在强酸性的溶液中进行的。当前，已可以采用LPD沉积的金属的氧化物有：Ti、Sn、Zr、V、Cd、Zn、Ni、Fe、Al等。纯氧化铝薄膜应该是绝缘体，因此，楼主的问题应该有肯定的答案。
另外，绝缘与否与加在材料两边的电压的高低有直接关系吧。那么它的击穿电压是多少呢？
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3楼2015-06-24 14:18:20
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huapingl123

捐助贵宾 (小有名气)
商家已经主动声明此回帖可能含有宣传内容
有的，虽然我没有做过，但是我用的10nm厚度的HfO2还有ZrO2就是找同学帮我用ALD沉积的~
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5楼2015-06-25 09:42:53
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