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北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
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happy@9

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】几个关于硅薄膜的问题

我在做硅薄膜,想请教大虾几个问题:
1、在结晶程度方面,Raman谱和XRD谱哪个更准确、可靠?
2、在P型衬底上沉积P型膜,然后扩散磷,为什么老不能出现光伏效应?
谢谢各位高手能帮忙解答!

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-11 at 15:25 ]
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

★ ★
fenghbu(金币+2,VIP+0):thanks
我现在的测试用Raman测的,但总觉得不放心,可能XRD在结晶性方面要好些,可以测出晶体取向,Raman测非晶、纳米晶还是挺好的

后面一个应该会出现光伏效应啊,是不是测试方法的问题?
以后是做爹的人啦
2楼2008-08-10 12:37:56
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tingyee

金虫 (小有名气)

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~ 7-21 01:10
一般情况下,制备的薄膜晶粒尺寸较小,raman要比xrd敏感。有时候xrd是表征不出来的
3楼2008-09-01 15:36:17
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xintom

金虫 (初入文坛)

硅薄膜

请问楼主采用什么方法制备硅薄膜?
4楼2009-05-01 08:23:04
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happy@9

木虫 (正式写手)

我用的是RF方法。
5楼2009-07-18 23:55:50
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流 7-19 22:42
XRD要比Raman技术准确,XRD的原理是射线被晶格改变方向的方式
而Raman是晶格震动导致入射射线改变。
Raman对材料厚度的依赖性比较大,当然材料结构随厚度变化要另当别论了。

P型衬底上沉积P型薄膜,请问半导体物理上的PN结在哪里呢?光伏效应是来自于PN结的,没有PN结何来光伏效应?
应该在N型衬底上沉积P型薄膜。

请问是哪个学校的哪位老师指导你啊?
6楼2009-07-19 05:20:46
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happy@9

木虫 (正式写手)

忘说了,我的P衬底是P+,电阻率只有1欧姆.厘米,沉积的P型薄膜则是高阻型,电阻要高1-2个数量级,然后再扩散制成N型薄层。后来我们出了光伏效应,开路电压差不多近300毫伏,但是短路电流很低。不知道什么原因?
7楼2009-07-20 22:31:44
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happy@9

木虫 (正式写手)

还有,SEM观察我们的薄膜厚度差不多3微米,颗粒边界非常清晰,XRD分析也有衍射峰,但是Raman谱分析依然是非晶态,都晕了!
8楼2009-07-20 22:35:07
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
不清楚你们到底是做哪种类型的硅薄膜,
为什么先做成P型薄膜再用磷扩散成N型呢?这个不是有点绕弯路吗?
直接在P型硅片上沉积N型薄膜不就成了?
300mV的电压很低啊,能说说你们这个器件的具体结构吗?发个JV曲线图上来看看,光凭空想象还真比较困难。
对非晶来说300微米是太厚了,产生的光生载流子没有出拉就复合掉了。
你们的XRD出现的峰要先分清楚是不是衬底硅片的峰还是薄膜的峰。
9楼2009-07-20 23:38:44
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
对于结晶测试而言XRD测试更准确一些,但拉曼也可以了。
对于你说的P型上生长P型再扩散磷肯定是没有形成pn结没有形成载流子的传输的原因可能是扩散磷没有足够的浓度,要不就是波膜结构不够好,还可能是你后续工艺存在问题吧慢慢改进吧支持。
http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
10楼2009-07-21 09:49:57
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