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happy@9

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】几个关于硅薄膜的问题

我在做硅薄膜,想请教大虾几个问题:
1、在结晶程度方面,Raman谱和XRD谱哪个更准确、可靠?
2、在P型衬底上沉积P型膜,然后扩散磷,为什么老不能出现光伏效应?
谢谢各位高手能帮忙解答!

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-11 at 15:25 ]
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cord

铁杆木虫 (著名写手)


★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
不清楚你们到底是做哪种类型的硅薄膜,
为什么先做成P型薄膜再用磷扩散成N型呢?这个不是有点绕弯路吗?
直接在P型硅片上沉积N型薄膜不就成了?
300mV的电压很低啊,能说说你们这个器件的具体结构吗?发个JV曲线图上来看看,光凭空想象还真比较困难。
对非晶来说300微米是太厚了,产生的光生载流子没有出拉就复合掉了。
你们的XRD出现的峰要先分清楚是不是衬底硅片的峰还是薄膜的峰。
9楼2009-07-20 23:38:44
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

★ ★
fenghbu(金币+2,VIP+0):thanks
我现在的测试用Raman测的,但总觉得不放心,可能XRD在结晶性方面要好些,可以测出晶体取向,Raman测非晶、纳米晶还是挺好的

后面一个应该会出现光伏效应啊,是不是测试方法的问题?
以后是做爹的人啦
2楼2008-08-10 12:37:56
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tingyee

金虫 (小有名气)

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~ 7-21 01:10
一般情况下,制备的薄膜晶粒尺寸较小,raman要比xrd敏感。有时候xrd是表征不出来的
3楼2008-09-01 15:36:17
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xintom

金虫 (初入文坛)

硅薄膜

请问楼主采用什么方法制备硅薄膜?
4楼2009-05-01 08:23:04
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