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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 专业学科区 » 物理 » 【求助】几个关于硅薄膜的问题
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happy@9

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】几个关于硅薄膜的问题

我在做硅薄膜，想请教大虾几个问题：
1、在结晶程度方面，Raman谱和XRD谱哪个更准确、可靠？
2、在P型衬底上沉积P型膜，然后扩散磷，为什么老不能出现光伏效应？
谢谢各位高手能帮忙解答！

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-11 at 15:25 ]
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1楼 2008-07-28 22:49:01
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹
★ ★
fenghbu(金币+2,VIP+0):thanks
我现在的测试用Raman测的，但总觉得不放心，可能XRD在结晶性方面要好些，可以测出晶体取向，Raman测非晶、纳米晶还是挺好的

后面一个应该会出现光伏效应啊，是不是测试方法的问题？
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以后是做爹的人啦
2楼2008-08-10 12:37:56
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tingyee

金虫 (小有名气)
★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~ 7-21 01:10
一般情况下，制备的薄膜晶粒尺寸较小，raman要比xrd敏感。有时候xrd是表征不出来的
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3楼2008-09-01 15:36:17
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xintom

金虫 (初入文坛)

硅薄膜

请问楼主采用什么方法制备硅薄膜？
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4楼2009-05-01 08:23:04
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happy@9

木虫 (正式写手)
我用的是RF方法。
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5楼2009-07-18 23:55:50
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+5,VIP+0):感谢您的交流 7-19 22:42
XRD要比Raman技术准确，XRD的原理是射线被晶格改变方向的方式
而Raman是晶格震动导致入射射线改变。
Raman对材料厚度的依赖性比较大，当然材料结构随厚度变化要另当别论了。

P型衬底上沉积P型薄膜，请问半导体物理上的PN结在哪里呢？光伏效应是来自于PN结的，没有PN结何来光伏效应？
应该在N型衬底上沉积P型薄膜。

请问是哪个学校的哪位老师指导你啊？
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6楼2009-07-19 05:20:46
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happy@9

木虫 (正式写手)
忘说了，我的P衬底是P+，电阻率只有1欧姆.厘米，沉积的P型薄膜则是高阻型，电阻要高1-2个数量级，然后再扩散制成N型薄层。后来我们出了光伏效应，开路电压差不多近300毫伏，但是短路电流很低。不知道什么原因？
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7楼2009-07-20 22:31:44
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happy@9

木虫 (正式写手)
还有，SEM观察我们的薄膜厚度差不多3微米，颗粒边界非常清晰，XRD分析也有衍射峰，但是Raman谱分析依然是非晶态，都晕了！
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8楼2009-07-20 22:35:07
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cord

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包，谢谢回帖交流
zt970831(金币+4,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
不清楚你们到底是做哪种类型的硅薄膜，
为什么先做成P型薄膜再用磷扩散成N型呢？这个不是有点绕弯路吗？
直接在P型硅片上沉积N型薄膜不就成了？
300mV的电压很低啊，能说说你们这个器件的具体结构吗？发个JV曲线图上来看看，光凭空想象还真比较困难。
对非晶来说300微米是太厚了，产生的光生载流子没有出拉就复合掉了。
你们的XRD出现的峰要先分清楚是不是衬底硅片的峰还是薄膜的峰。
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9楼2009-07-20 23:38:44
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)
★ ★ ★ ★
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zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
对于结晶测试而言XRD测试更准确一些，但拉曼也可以了。
对于你说的P型上生长P型再扩散磷肯定是没有形成pn结没有形成载流子的传输的原因可能是扩散磷没有足够的浓度，要不就是波膜结构不够好，还可能是你后续工艺存在问题吧慢慢改进吧支持。
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http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
10楼2009-07-21 09:49:57
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