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happy@9

木虫 (正式写手)

[交流] 【求助】几个关于硅薄膜的问题

我在做硅薄膜,想请教大虾几个问题:
1、在结晶程度方面,Raman谱和XRD谱哪个更准确、可靠?
2、在P型衬底上沉积P型膜,然后扩散磷,为什么老不能出现光伏效应?
谢谢各位高手能帮忙解答!

[ Last edited by SHY31 on 2008-8-11 at 15:25 ]
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sun-boymlh

铜虫 (正式写手)

★ ★ ★ ★
小木虫(金币+0.5):给个红包,谢谢回帖交流
zt970831(金币+3,VIP+0):感谢您的交流 7-21 23:05
对于结晶测试而言XRD测试更准确一些,但拉曼也可以了。
对于你说的P型上生长P型再扩散磷肯定是没有形成pn结没有形成载流子的传输的原因可能是扩散磷没有足够的浓度,要不就是波膜结构不够好,还可能是你后续工艺存在问题吧慢慢改进吧支持。
http://d.namipan.com/d/Ashcroft,%20Neil%20W,%20Mermin,%20David%20N%20-%20Solid%20State%20Physics(T).djvu/f0504e0c934fa43e8b69e21671ca15dab32ef84964 .
10楼2009-07-21 09:49:57
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mruniverse

木虫 (小有名气)

娃的爹

★ ★
fenghbu(金币+2,VIP+0):thanks
我现在的测试用Raman测的,但总觉得不放心,可能XRD在结晶性方面要好些,可以测出晶体取向,Raman测非晶、纳米晶还是挺好的

后面一个应该会出现光伏效应啊,是不是测试方法的问题?
以后是做爹的人啦
2楼2008-08-10 12:37:56
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tingyee

金虫 (小有名气)

★ ★
musi429(金币+2,VIP+0):多谢交流~ 7-21 01:10
一般情况下,制备的薄膜晶粒尺寸较小,raman要比xrd敏感。有时候xrd是表征不出来的
3楼2008-09-01 15:36:17
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xintom

金虫 (初入文坛)

硅薄膜

请问楼主采用什么方法制备硅薄膜?
4楼2009-05-01 08:23:04
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