应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何使得紫外曝光的陡直度变得更好
31/1返回列表
查看: 1133  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

VIIIX

银虫 (小有名气)

[求助] 如何使得紫外曝光的陡直度变得更好 已有1人参与

我们现在需要将胶的厚度控制在2um，但是不知道如何将这个胶边缘陡直度搞的很陡直。
我现在用的胶是N4340负胶。
这个陡直度严重影响的我的实验，尤其是跟衬底接触的部分，我应该怎么办？

如何使得紫外曝光的陡直度变得更好
Unnamed QQ Screenshot20150621131024.png
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-06-21 13:14:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这个图看着好诡异。
抛开图不说，你选错胶了。本身负胶垂直度就不好，多少都会有底切，你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶，比如SPR955，S1818，SPR220 2.0，都可以获得陡直的侧壁。如果一定要负胶，可以考虑futurrex的胶或者microresist的负胶。
建议咨询苏州锐材半导体，让他们帮你查一下型号。
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-24 12:11:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

VIIIX

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-06-24 12:11:05
你这个图看着好诡异。
抛开图不说，你选错胶了。本身负胶垂直度就不好，多少都会有底切，你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶，比如SPR955，S1818，SPR220 2.0，都可以获得陡直的侧壁。如果一定 ...

ar系列的胶不好吗？
正胶的话可以得到较好的陡直度？我们这里有s1813可以吗？

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
3楼2015-07-09 19:17:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 VIIIX 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 申博/考博 +4 啃面包的小书虫 2026-04-17 8/400 2026-04-21 16:26 by 啃面包的小书虫
[考研] 295分求调剂 +6 ?要上岸? 2026-04-17 6/300 2026-04-21 08:18 by Equinoxhua
[考研] 085600材料与化工调剂 5+3 孜孜不倦2002 2026-04-19 6/300 2026-04-20 21:25 by babero
[论文投稿] 期刊推荐 +3 材料研究生 2026-04-15 5/250 2026-04-20 16:02 by 豆豆7758
[论文投稿] 有没有接收比较快的sci期刊呀，最好在一个月之内的，研三孩子求毕业 20+4 之护着 2026-04-16 7/350 2026-04-20 15:45 by 豆豆7758
[考研] 337求调剂 +3 jyz04 2026-04-18 3/150 2026-04-20 12:24 by 研可安
[考博] 申博 +3 Xyyx. 2026-04-18 3/150 2026-04-20 10:44 by YuY66
[考研] 求计算机方向调剂 +3 Toffee2 2026-04-16 6/300 2026-04-19 22:37 by ll叶
[考研] 求调剂推荐 +9 小聂爱学习 2026-04-14 9/450 2026-04-19 17:03 by 中豫男
[考研] 求调剂 +10 小聂爱学习 2026-04-16 12/600 2026-04-19 16:51 by 中豫男
[考研] 291求调剂 +12 关忆北. 2026-04-14 13/650 2026-04-19 16:50 by 中豫男
[考研] 求调剂 +6 苦命人。。。 2026-04-18 7/350 2026-04-19 16:27 by 中豫男
[考研] 307中医考研调剂 +9 于以采蘩 2026-04-14 9/450 2026-04-19 08:41 by 烟雨流涯
[考研] 0854求调剂 +23 门路摸摸 2026-04-15 27/1350 2026-04-19 01:59 by 烟雨流涯
[考研] 300求调剂 +12 橙a777 2026-04-15 12/600 2026-04-18 23:51 by 路病情
[考研] 297，工科调剂? +5 河南农业大学-能 2026-04-14 5/250 2026-04-18 15:17 by Equinoxhua
[考研] 收到复试调剂但是去不了 +8 小蜗牛* 2026-04-16 8/400 2026-04-18 11:15 by zixin2025
[考研] 急需调剂 +9 绝不放弃22 2026-04-15 10/500 2026-04-18 08:09 by chixmc
[有机交流] 二苯甲酮酸类衍生物 50+3 小白爱主人 2026-04-17 6/300 2026-04-17 18:47 by kf2781974
[考研] 一志愿沪9，生物学326求调剂 +9 刘墨墨 2026-04-15 9/450 2026-04-16 17:14 by 崔崔崔cccc
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭