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VIIIX

银虫 (小有名气)

[求助] 如何使得紫外曝光的陡直度变得更好 已有1人参与

我们现在需要将胶的厚度控制在2um,但是不知道如何将这个胶边缘陡直度搞的很陡直。
我现在用的胶是N4340负胶。
这个陡直度严重影响的我的实验,尤其是跟衬底接触的部分,我应该怎么办?

如何使得紫外曝光的陡直度变得更好
Unnamed QQ Screenshot20150621131024.png
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yswyx

专家顾问 (著名写手)


【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
你这个图看着好诡异。
抛开图不说,你选错胶了。本身负胶垂直度就不好,多少都会有底切,你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶,比如SPR955,S1818,SPR220 2.0,都可以获得陡直的侧壁。如果一定要负胶,可以考虑futurrex的胶或者microresist的负胶。
建议咨询苏州锐材半导体,让他们帮你查一下型号。
2楼2015-06-24 12:11:05
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VIIIX

银虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-06-24 12:11:05
你这个图看着好诡异。
抛开图不说,你选错胶了。本身负胶垂直度就不好,多少都会有底切,你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶,比如SPR955,S1818,SPR220 2.0,都可以获得陡直的侧壁。如果一定 ...

ar系列的胶不好吗?
正胶的话可以得到较好的陡直度?我们这里有s1813可以吗?

[ 发自小木虫客户端 ]
3楼2015-07-09 19:17:37
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