应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 如何使得紫外曝光的陡直度变得更好
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
31/1返回列表
查看: 1124  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

VIIIX

银虫 (小有名气)

[求助] 如何使得紫外曝光的陡直度变得更好 已有1人参与

我们现在需要将胶的厚度控制在2um，但是不知道如何将这个胶边缘陡直度搞的很陡直。
我现在用的胶是N4340负胶。
这个陡直度严重影响的我的实验，尤其是跟衬底接触的部分，我应该怎么办？

如何使得紫外曝光的陡直度变得更好
Unnamed QQ Screenshot20150621131024.png
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

实验们

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-06-21 13:14:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
你这个图看着好诡异。
抛开图不说，你选错胶了。本身负胶垂直度就不好，多少都会有底切，你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶，比如SPR955，S1818，SPR220 2.0，都可以获得陡直的侧壁。如果一定要负胶，可以考虑futurrex的胶或者microresist的负胶。
建议咨询苏州锐材半导体，让他们帮你查一下型号。
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-24 12:11:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

VIIIX

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2015-06-24 12:11:05
你这个图看着好诡异。
抛开图不说，你选错胶了。本身负胶垂直度就不好，多少都会有底切，你用的AR这一款胶做出来的结果就很明显。
建议选择正胶，比如SPR955，S1818，SPR220 2.0，都可以获得陡直的侧壁。如果一定 ...

ar系列的胶不好吗？
正胶的话可以得到较好的陡直度？我们这里有s1813可以吗？

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
3楼2015-07-09 19:17:37
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 VIIIX 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工调剂303分，过四级 +29 栖梧待风 2026-04-02 29/1450 2026-04-07 09:19 by dick_runner
[考研] 283求调剂 +13 A child 2026-04-04 13/650 2026-04-07 08:47 by 晴空210210
[考研] 297求调剂 +7 GENJIOW 2026-04-07 7/350 2026-04-07 08:45 by 晴空210210
[考研] 080500求调剂 +11 黄宇博 2026-04-06 11/550 2026-04-07 07:53 by 0谦谦0
[考研] 301求调剂 +15 121. 2026-04-04 15/750 2026-04-07 02:14 by BruceLiu320
[考研] 求调剂 +5 小沢 2026-04-03 5/250 2026-04-06 22:45 by 875465
[考研] 考研调剂一志愿北矿安全科学与工程学硕316 +3 Wwwwwww哇 2026-04-06 3/150 2026-04-06 20:55 by lbsjt
[考研] 机械专硕274求调剂，不挑专业学校 +6 泛泛2333 2026-04-05 8/400 2026-04-06 18:06 by 泛泛2333
[考研] 材料调剂 +12 一样YWY 2026-04-05 13/650 2026-04-06 15:38 by lin-da
[考研] 专硕304找调剂，一线城市最好 +3 李lsl李 2026-04-05 3/150 2026-04-06 12:16 by ffffjjjj
[考研] 求调剂 +5 wos666 2026-04-03 5/250 2026-04-06 10:13 by 蓝云思雨
[考研] 材料专硕283求调剂 +17 试试看呗 2026-04-04 18/900 2026-04-06 09:24 by 286640313
[考研] 308求调剂 +3 终不似从前 2026-04-05 3/150 2026-04-05 20:07 by 啵啵啵0119
[考研] 环境285分，过六级，求调剂 +10 xhr12 2026-04-02 10/500 2026-04-04 21:53 by bn53987
[考研] 。 +5 雾与海 2026-04-02 6/300 2026-04-04 19:53 by 蓝云思雨
[考研] 319求调剂 +4 星星不眨眼喽 2026-04-03 4/200 2026-04-04 16:25 by 中飞院空管学院�
[考研] 调剂 +3 osbbx 2026-04-02 3/150 2026-04-03 07:47 by cc8418
[考研] 08工科275求调剂，可跨考。 +5 AaAa7420 2026-03-31 5/250 2026-04-01 15:21 by 159357hjz
[考研] 267求调剂 +13 uiybh 2026-03-31 13/650 2026-04-01 10:25 by 探123
[考研] 0855机械初试280求调剂 +3 kazenotori 2026-03-31 3/150 2026-04-01 10:08 by JourneyLucky
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭