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如何除去氧化铁中的结晶氧化硅
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专业: 半导体材料
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如何除去氧化铁中的结晶氧化硅
如何去除氧化铁中的结晶氧化硅?想用湿法刻蚀,最好能给出刻蚀溶液的具体浓度。之前试过NaOH溶液,12M,80℃,不管事。。。。又用0.3wt%的HF刻蚀,貌似结晶氧化硅的XRD峰也没什么变化。木有经验,不敢直接用太高浓度的HF,怕对氧化铁有伤害。哪位虫友有类似的经验请不吝赐教,感激不尽
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2015-06-13 17:05:40
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