应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

Znn3bq.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 碳化铪（HfC）纳米涂层制备失败
51/1返回列表
查看: 1023  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

BJ05428

铜虫 (小有名气)

[求助] 碳化铪（HfC）纳米涂层制备失败 已有1人参与

求助大神帮助，我依靠PVD磁控溅射制备碳化铪（HfC）纳米涂层，依靠氩气和乙炔，乙炔的比例我已经调的很低了，低的已经快不符合量程范围难以控制了，但是碳化铪的靶材还是老是变黑，每次制备好靶材估计都是一层碳粉。硬度往往只有4-9GPa，而且XRD也没有峰，请问有人有过类似的经验，并有什么改进思路的推荐吗？万分感谢，如有的话，请站内信联系。

[ Last edited by 月牙儿的微笑 on 2015-9-5 at 23:28 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2015-06-05 23:36:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BJ05428

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-06-06 07:23:25
查找一下相关文献，找找最佳参数。靶材变黑，应该是靶材功率不够，靶材表面溅射产额小于有机物生成产额导致的靶中毒。像这种反应溅射，应该在基片上反应，不是靶材上。

我查了很多文献，交大有做的很好的，但是他们的气体比例是压力比例，而我们的是流量比。我年前做过有一次做得很好，靶上面没有变黑，而且结晶硬度都很好，但是年后设备因为漏气所以修了一次，修好后密封后原来的工艺就在也做不好了，试了较低气压也不行。谢谢你缝纫建议，我马上试试。
赞一下 回复此楼
3楼2015-06-06 10:25:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
BJ05428: 金币+20, ★★★很有帮助, 提示了新的尝试解决思路 2015-06-06 10:26:22
查找一下相关文献，找找最佳参数。靶材变黑，应该是靶材功率不够，靶材表面溅射产额小于有机物生成产额导致的靶中毒。像这种反应溅射，应该在基片上反应，不是靶材上。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-06 07:23:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 3 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 化工学硕 285求调剂 +27 Wisjxn 2026-04-07 27/1350 2026-04-13 08:56 by lhj2009
[考研] 366求调剂 +9 不知名的小卅 2026-04-11 9/450 2026-04-13 01:19 by 幸免 ..
[考研] 279求调剂 +9 张番茄不炒蛋 2026-04-11 9/450 2026-04-12 22:22 by paopaotu326
[考研] 313求调剂 +5 余摆摆是大哥 2026-04-11 5/250 2026-04-12 10:34 by 猪会飞
[考研] 求调剂 +6 电气300求调剂不 2026-04-08 6/300 2026-04-11 20:14 by 逆水乘风
[考研] 求调剂 +10 璃茉一定上岸 2026-04-10 10/500 2026-04-11 13:31 by 1005715100
[考研] 269电子信息求调剂，可转专业 +11 独酌wl 2026-04-06 11/550 2026-04-11 11:12 by 逆水乘风
[考研] 293求调剂 +6 勇远库爱314 2026-04-08 6/300 2026-04-11 10:08 by zhq0425
[考研] 284求调剂 +9 让我上岸吧阿西 2026-04-09 11/550 2026-04-10 19:18 by 靖jing
[考研] 机械专368 有去处吗 +4 种大树 2026-04-10 4/200 2026-04-10 15:31 by jiajinhpu
[考研] 282，电气工程专业，求调剂，不挑专业 +9 jggshjkkm 2026-04-10 9/450 2026-04-10 14:55 by 逆水乘风
[考研] 求调剂 +11 翩翩一书生 2026-04-09 13/650 2026-04-10 10:27 by liuhuiying09
[考研] 292求调剂 +9 笑笑袁 2026-04-09 9/450 2026-04-10 10:05 by LHGeng
[考研] 085601初试330分找调剂 +10 流心奶黄包l 2026-04-09 10/500 2026-04-10 08:14 by Sammy2
[考研] 材料专硕调剂 +16 哈哈哈吼吼吼哈 2026-04-07 17/850 2026-04-09 21:16 by wutongshun
[考研] 070300化学 求调剂 +13 73372112 2026-04-08 13/650 2026-04-09 20:22 by maddjdld
[考研] 一志愿211，化学学硕，310分，本科重点双非，求调剂 +10 努力奋斗112 2026-04-07 10/500 2026-04-08 15:01 by screening
[考研] 277、学硕，求调剂 数一104， +11 瓶子PZ 2026-04-07 12/600 2026-04-07 23:30 by 一只好果子?
[考研] 调剂 +4 mcbbc 2026-04-06 5/250 2026-04-07 12:33 by upczlm1989
[考研] 327考研调剂推荐 +6 呜呜呜呜呢 2026-04-06 6/300 2026-04-06 21:39 by 啵啵啵0119
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭