应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术交流 » 碳化铪（HfC）纳米涂层制备失败
31/1返回列表
查看: 1011  |  回复: 2
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

BJ05428

铜虫 (小有名气)

[求助] 碳化铪（HfC）纳米涂层制备失败 已有1人参与

求助大神帮助，我依靠PVD磁控溅射制备碳化铪（HfC）纳米涂层，依靠氩气和乙炔，乙炔的比例我已经调的很低了，低的已经快不符合量程范围难以控制了，但是碳化铪的靶材还是老是变黑，每次制备好靶材估计都是一层碳粉。硬度往往只有4-9GPa，而且XRD也没有峰，请问有人有过类似的经验，并有什么改进思路的推荐吗？万分感谢，如有的话，请站内信联系。

[ Last edited by 月牙儿的微笑 on 2015-9-5 at 23:28 ]
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

薄膜制备与特性

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2015-06-05 23:36:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

Friend007

银虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
BJ05428: 金币+20, ★★★很有帮助, 提示了新的尝试解决思路 2015-06-06 10:26:22
查找一下相关文献，找找最佳参数。靶材变黑，应该是靶材功率不够，靶材表面溅射产额小于有机物生成产额导致的靶中毒。像这种反应溅射，应该在基片上反应，不是靶材上。

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
2楼2015-06-06 07:23:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

BJ05428

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by Friend007 at 2015-06-06 07:23:25
查找一下相关文献，找找最佳参数。靶材变黑，应该是靶材功率不够，靶材表面溅射产额小于有机物生成产额导致的靶中毒。像这种反应溅射，应该在基片上反应，不是靶材上。

我查了很多文献，交大有做的很好的，但是他们的气体比例是压力比例，而我们的是流量比。我年前做过有一次做得很好，靶上面没有变黑，而且结晶硬度都很好，但是年后设备因为漏气所以修了一次，修好后密封后原来的工艺就在也做不好了，试了较低气压也不行。谢谢你缝纫建议，我马上试试。
赞一下 回复此楼
3楼2015-06-06 10:25:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 BJ05428 的主题更新
31/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +5 pnpwoqbg8f 2026-02-16 5/250 2026-02-18 18:25 by 7pdbc5bdo2
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 18:12 by 7pdbc5bdo2
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 17:57 by 7pdbc5bdo2
[找工作] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 11:09 by lqtl9djx19
[考博] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 10:54 by lqtl9djx19
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 i3cz6qj6l2 2026-02-17 3/150 2026-02-18 10:39 by lqtl9djx19
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-18 08:53 by lqtl9djx19
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-18 08:38 by lqtl9djx19
[找工作] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-17 4/200 2026-02-18 07:55 by lotyj5cz79
[基金申请] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:40 by lotyj5cz79
[考研] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:38 by lotyj5cz79
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +4 pnpwoqbg8f 2026-02-16 4/200 2026-02-18 07:23 by lotyj5cz79
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-18 00:40 by tk2gfblvuz
[找工作] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 4/200 2026-02-18 00:23 by tk2gfblvuz
[公派出国] 售SCI一区文章，我:8 O5 51O 54,科目齐全,可+急 +3 pnpwoqbg8f 2026-02-17 3/150 2026-02-17 23:40 by tk2gfblvuz
[基金申请] 基金正文30页指的是报告正文还是整个申请书 +3 successhe 2026-02-16 4/200 2026-02-17 20:56 by successhe
[基金申请] 今年春晚有几个节目很不错，点赞！ +5 瞬息宇宙 2026-02-16 6/300 2026-02-17 12:49 by jymy19840415
[微米和纳米] 球磨粉体时遇到了大的问题，请指教！ 10+3 6sbiam 2026-02-12 15/750 2026-02-16 15:03 by tgzxzqj
[基金申请] 过年走亲戚时感受到了所开私家车的鄙视链 +3 瞬息宇宙 2026-02-15 5/250 2026-02-16 14:23 by aspect3000
[硕博家园] 江汉大学解明教授课题组招博士研究生/博士后 +3 cleverlyy 2026-02-12 3/150 2026-02-12 21:02 by qsdf1
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭