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跪求如何测试硅片不同深度的元素浓度 已有3人参与
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| 采用离子注入对硅片进行了S元素的掺杂,想要测试S元素的浓度随深度的变化情况,该怎么弄 |
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2楼2015-05-26 17:22:57
keysci
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