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38463781

铜虫 (初入文坛)

[求助] 跪求如何测试硅片不同深度的元素浓度 已有3人参与

采用离子注入对硅片进行了S元素的掺杂,想要测试S元素的浓度随深度的变化情况,该怎么弄
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zzlcsu

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
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38463781: 金币+5, ★★★★★最佳答案, 谢谢了 2015-05-27 10:00:12
xps可以的吧,测一遍用离子刻蚀一层再测,不过刻蚀的厚度是相对于Ta2O5的刻蚀速率做参照的,所以厚度和十几样品的厚度可能会有一点误差
2楼2015-05-26 17:22:57
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keysci

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【答案】应助回帖

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统一楼上,用离子刻蚀测xps,刻蚀不同的时间可以剥离不同的深度
3楼2015-05-26 19:28:38
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kokoguodong

新虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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可以做透射电镜样品进行观察,结果更为直观。

[ 发自小木虫客户端 ]
4楼2015-05-26 22:27:13
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