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Sunmengwei

金虫 (小有名气)

[求助] 请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗? 已有1人参与

请问各位大神,在刻有纳米结构的Si片上残留了PDMS,请问有什么好的方法去除而不影响Si模板吗?
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biolqs7

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by weiyongscut at 2015-05-18 21:45:46
可以看一下这篇文章,前几天刚看到的,Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in P ...

你好,文献里用的是1%的四丁基氟化铵的 丙二醇甲米乙酸酯溶液,请问您试过吗?会破坏硅片的微结构吗?
我在网上搜的四丁基氟化铵大多数都是溶于THF的,文献里好像也没有说材料从哪买的,用的什么样的。是不是得用固体的四丁基氟化铵?
还有卖四丁基氟化铵水合物的,不知道买哪种?您用的是哪种啊?
最后,四丁基氟化铵有毒吗?听说氟化氨很危险,不知道四丁基氟化氨怎么样。。。
8楼2017-12-01 23:32:14
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查看全部 9 个回答

weiyongscut

金虫 (正式写手)

王者归来

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
Sunmengwei: 金币+10, 有帮助, 谢谢楼主,可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质,会不会把我的Si也溶了呢? 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢,我试了下,效果还不错 2015-05-20 21:40:58
可以看一下这篇文章,前几天刚看到的,Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press.

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

每个人心中都有一个梦
2楼2015-05-18 21:45:46
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有些人

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Sunmengwei at 2015-05-19 17:31:22
自己顶一下

楼主找到合适的方法了吗
4楼2016-06-13 10:51:52
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

**尚未成功,同志仍需努力
5楼2016-06-13 12:14:16
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