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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » 请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗？
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Sunmengwei

金虫 (小有名气)

[求助] 请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗？ 已有1人参与

请问各位大神，在刻有纳米结构的Si片上残留了PDMS，请问有什么好的方法去除而不影响Si模板吗？
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1楼 2015-05-18 11:56:09
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biolqs7

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by weiyongscut at 2015-05-18 21:45:46
可以看一下这篇文章，前几天刚看到的，Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in P ...

你好，文献里用的是1%的四丁基氟化铵的 丙二醇甲米乙酸酯溶液，请问您试过吗？会破坏硅片的微结构吗？
我在网上搜的四丁基氟化铵大多数都是溶于THF的，文献里好像也没有说材料从哪买的，用的什么样的。是不是得用固体的四丁基氟化铵？
还有卖四丁基氟化铵水合物的，不知道买哪种？您用的是哪种啊？
最后，四丁基氟化铵有毒吗？听说氟化氨很危险，不知道四丁基氟化氨怎么样。。。
赞一下 回复此楼
8楼2017-12-01 23:32:14
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weiyongscut

金虫 (正式写手)

王者归来

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
Sunmengwei: 金币+10, ★有帮助, 谢谢楼主，可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质，会不会把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我试了下，效果还不错 2015-05-20 21:40:58
可以看一下这篇文章，前几天刚看到的，Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press.
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» 本帖已获得的红花（最新10朵）

天堂陌路人
每个人心中都有一个梦
2楼2015-05-18 21:45:46
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有些人

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by Sunmengwei at 2015-05-19 17:31:22
自己顶一下

楼主找到合适的方法了吗
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4楼2016-06-13 10:51:52
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)
甲苯 可以

发自小木虫Android客户端
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**尚未成功，同志仍需努力
5楼2016-06-13 12:14:16
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