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Sunmengwei

金虫 (小有名气)

[求助] 请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗? 已有1人参与

请问各位大神,在刻有纳米结构的Si片上残留了PDMS,请问有什么好的方法去除而不影响Si模板吗?
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daerbeijita

铁杆木虫 (正式写手)

**尚未成功,同志仍需努力
5楼2016-06-13 12:14:16
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weiyongscut

金虫 (正式写手)

王者归来

【答案】应助回帖

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感谢参与,应助指数 +1
Sunmengwei: 金币+10, 有帮助, 谢谢楼主,可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质,会不会把我的Si也溶了呢? 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢,我试了下,效果还不错 2015-05-20 21:40:58
可以看一下这篇文章,前几天刚看到的,Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press.

» 本帖已获得的红花(最新10朵)

每个人心中都有一个梦
2楼2015-05-18 21:45:46
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有些人

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by Sunmengwei at 2015-05-19 17:31:22
自己顶一下

楼主找到合适的方法了吗
4楼2016-06-13 10:51:52
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elvassorelab

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
5楼: Originally posted by daerbeijita at 2016-06-13 12:14:16
甲苯 可以

请问具体应该怎么操作啊?
之前我们按文献里的方法是没有问题的,但是最近这一次却怎么都洗不干净,不知道怎么回事。
6楼2016-12-27 13:51:48
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