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Sunmengwei

金虫 (小有名气)

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[求助] 请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗？已有1人参与

请问各位大神，在刻有纳米结构的Si片上残留了PDMS，请问有什么好的方法去除而不影响Si模板吗？

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1楼 2015-05-18 11:56:09

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有些人

新虫 (初入文坛)

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引用回帖:

3楼: Originally posted by Sunmengwei at 2015-05-19 17:31:22
自己顶一下

楼主找到合适的方法了吗

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4楼2016-06-13 10:51:52

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weiyongscut

金虫 (正式写手)

王者归来

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【答案】应助回帖

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感谢参与，应助指数 +1
Sunmengwei: 金币+10, ★有帮助, 谢谢楼主，可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质，会不会把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我试了下，效果还不错 2015-05-20 21:40:58

可以看一下这篇文章，前几天刚看到的，Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press.

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