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Sunmengwei金虫 (小有名气)
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[求助]
请问固化后的PDMS有什么好的方法去除的吗？ 已有1人参与
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| 请问各位大神，在刻有纳米结构的Si片上残留了PDMS，请问有什么好的方法去除而不影响Si模板吗？ |
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4楼2016-06-13 10:51:52
weiyongscut
金虫 (正式写手)
王者归来
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【答案】应助回帖
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Sunmengwei: 金币+10, ★有帮助, 谢谢楼主，可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质，会不会把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我试了下，效果还不错 2015-05-20 21:40:58
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Sunmengwei: 金币+10, ★有帮助, 谢谢楼主，可是文章中说要用四丁基氟化铵做溶质，会不会把我的Si也溶了呢？ 2015-05-19 10:32:23
Sunmengwei: 金币+40, ★★★★★最佳答案, 谢谢，我试了下，效果还不错 2015-05-20 21:40:58
| 可以看一下这篇文章，前几天刚看到的，Ravinder Dahiya, Gloria Gottardi, Nadhira Laidani. PDMS residues-free micro/macrostructures on flexible substrates. Microelectronic Engineering, 2015, Article in Press. |
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天堂陌路人
2楼2015-05-18 21:45:46
daerbeijita
铁杆木虫 (正式写手)
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