24小时热门版块排行榜    

查看: 950  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zochunphy

铜虫 (小有名气)

[求助] CVD过程真关于低压充气氛的问题 已有2人参与

一般CVD制备石墨烯前都要对炉子进行抽真空,保持低压状态,那么问题来了,炉子里处于低压状态,如何在既保持炉子内低压状态通入气体,还能在低压状态下排出气体呢,因为炉子内的气压比外界小,那么气体只能进入炉子而不能排出啊。
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dancy1987

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

看你需要多大的真空度了,我现在是这么做的,不知道对不对。
如果需要低真空,一两百帕左右,那么在机械泵抽的情况下通100 sccm的气体,会保持在 100-200左右,
如果要再高点,可以预抽真空后,关掉泵,打开出气口,很小一点就行,这时管内压力大概在 2 kPa左右。

说到此,我也有一个问题,Atmospheric pressure 到底是多少?不是大气压吗?我在一个Nature Mater 文章中看到 他说这个压力是1 kPa左右,难道就是我说的后一种情况?
做一个有心人!
6楼2015-06-26 09:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

sidalixue

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
CVD一般是要讲究动态平衡的,就是说一边通入气体,一边通过泵抽出气体,从而达到平衡状态,稳定的气压和气氛
2楼2015-05-18 11:08:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zochunphy

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sidalixue at 2015-05-18 11:08:44
CVD一般是要讲究动态平衡的,就是说一边通入气体,一边通过泵抽出气体,从而达到平衡状态,稳定的气压和气氛

多谢解答,这个我也想过,但是现在情况是这样,碳源为固态,在一定温度下分解为气态,如果直接用泵抽气使环境保持一定气压,有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出,无法参与反应。
3楼2015-05-18 11:30:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sidalixue

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zochunphy at 2015-05-18 11:30:15
多谢解答,这个我也想过,但是现在情况是这样,碳源为固态,在一定温度下分解为气态,如果直接用泵抽气使环境保持一定气压,有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出,无法参与反应。...

有部分C是会被抽走的,不过不是一直通甲烷吗
4楼2015-05-18 15:33:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 085601求调剂总分293英一数二 +3 钢铁大炮 2026-03-24 3/150 2026-03-24 22:03 by bingxueer79
[考研] 材料调剂 +6 匹克i 2026-03-23 6/300 2026-03-24 21:09 by greychen00
[考研] 289求调剂 +8 硕星赴 2026-03-23 8/400 2026-03-24 20:17 by peike
[有机交流] 有机合成求助 20+3 FENGSHUJEI 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:31 by 88817753
[考研] 274求调剂 +5 顾九笙要谦虚 2026-03-24 5/250 2026-03-24 18:43 by jhhcooi
[考研] 306求0703调剂一志愿华中师范 +10 纸鱼ly 2026-03-21 11/550 2026-03-24 17:22 by qingfeng258
[考研] 321求调剂 +4 Ymlll 2026-03-24 4/200 2026-03-24 14:44 by sprinining
[考研] 材料与化工328分调剂 +4 。,。,。,。i 2026-03-23 4/200 2026-03-24 11:03 by 544594351
[考研] 一志愿吉大化学322求调剂 +4 17501029541 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:21 by 戴围脖的小蚊子
[考研] 一志愿山东大学药学学硕求调剂 +3 开开心心没烦恼 2026-03-23 4/200 2026-03-24 00:06 by 开开心心没烦恼
[考研] 求调剂材料学硕080500,总分289分 5+3 @taotao 2026-03-19 21/1050 2026-03-23 10:17 by 冠c哥
[考研] 287求调剂 +8 晨昏线与星海 2026-03-19 9/450 2026-03-22 17:01 by i_cooler
[考研] 289求调剂 +7 怀瑾握瑜l 2026-03-20 7/350 2026-03-22 15:57 by ColorlessPI
[考研] 生物学调剂 +5 Surekei 2026-03-21 5/250 2026-03-22 14:39 by tcx007
[考研] 0703化学调剂 +4 妮妮ninicgb 2026-03-21 4/200 2026-03-21 18:39 by 学员8dgXkO
[考研] 华东师范大学-071000生物学-293分-求调剂 +3 研究生何瑶明 2026-03-18 3/150 2026-03-21 01:30 by JourneyLucky
[考研] 329求调剂 +9 想上学吖吖 2026-03-19 9/450 2026-03-20 22:01 by luoyongfeng
[考研] 求调剂一志愿南京航空航天大学289分 +3 @taotao 2026-03-19 3/150 2026-03-20 21:34 by JourneyLucky
[考研] 招收调剂硕士 +4 lidianxing 2026-03-19 12/600 2026-03-20 12:25 by lidianxing
[考研] 材料学硕318求调剂 +5 February_Feb 2026-03-19 5/250 2026-03-19 23:51 by 23Postgrad
信息提示
请填处理意见