应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 学术讨论 » CVD过程真关于低压充气氛的问题
51/1返回列表
查看: 1128  |  回复: 6
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

zochunphy

铜虫 (小有名气)

[求助] CVD过程真关于低压充气氛的问题 已有2人参与

一般CVD制备石墨烯前都要对炉子进行抽真空，保持低压状态，那么问题来了，炉子里处于低压状态，如何在既保持炉子内低压状态通入气体，还能在低压状态下排出气体呢，因为炉子内的气压比外界小，那么气体只能进入炉子而不能排出啊。
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2015-05-18 10:14:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

dancy1987

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

看你需要多大的真空度了，我现在是这么做的，不知道对不对。
如果需要低真空，一两百帕左右，那么在机械泵抽的情况下通100 sccm的气体，会保持在 100-200左右，
如果要再高点，可以预抽真空后，关掉泵，打开出气口，很小一点就行，这时管内压力大概在 2 kPa左右。

说到此，我也有一个问题，Atmospheric pressure 到底是多少？不是大气压吗？我在一个Nature Mater 文章中看到 他说这个压力是1 kPa左右，难道就是我说的后一种情况？
赞一下 回复此楼
做一个有心人！
6楼2015-06-26 09:56:41
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

sidalixue

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
CVD一般是要讲究动态平衡的，就是说一边通入气体，一边通过泵抽出气体，从而达到平衡状态，稳定的气压和气氛
赞一下 回复此楼
2楼2015-05-18 11:08:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zochunphy

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by sidalixue at 2015-05-18 11:08:44
CVD一般是要讲究动态平衡的，就是说一边通入气体，一边通过泵抽出气体，从而达到平衡状态，稳定的气压和气氛

多谢解答，这个我也想过，但是现在情况是这样，碳源为固态，在一定温度下分解为气态，如果直接用泵抽气使环境保持一定气压，有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出，无法参与反应。
赞一下 回复此楼
3楼2015-05-18 11:30:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

sidalixue

木虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by zochunphy at 2015-05-18 11:30:15
多谢解答，这个我也想过，但是现在情况是这样，碳源为固态，在一定温度下分解为气态，如果直接用泵抽气使环境保持一定气压，有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出，无法参与反应。...

有部分C是会被抽走的，不过不是一直通甲烷吗
赞一下 回复此楼
4楼2015-05-18 15:33:36
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 Aj1rhIDL5ixY 2026-09-14 5/250 2026-09-17 05:14 by k06BKNblrGRH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 23jxep3nCNZb 2026-09-14 4/200 2026-09-17 04:04 by k06BKNblrGRH
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 6/300 2026-09-17 03:14 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +6 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 6/300 2026-09-17 03:04 by Tql5LQhh5rLK
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +6 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 6/300 2026-09-17 02:38 by Tql5LQhh5rLK
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-17 02:38 by Tql5LQhh5rLK
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 7/350 2026-09-17 02:02 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 vZfe6xYu34yj 2026-09-14 3/150 2026-09-16 22:26 by Tql5LQhh5rLK
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 8/400 2026-09-16 18:37 by rRvxEj3zorCy
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 17:12 by i3KBRD19ERkG
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-16 15:48 by i3KBRD19ERkG
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 4/200 2026-09-16 06:36 by LH5NkK5Ud4bh
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-16 05:27 by LH5NkK5Ud4bh
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +7 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 7/350 2026-09-16 02:35 by DgNGHc3h5tPl
[考博] 申博发邮件 +4 Lmengk 2026-09-15 4/200 2026-09-16 00:05 by 木心想继续深造
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +7 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 7/350 2026-09-15 16:23 by CgyNCDVNhGVg
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 09:38 by VMDqgnlKimtZ
[教师之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:26 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 3/150 2026-09-15 07:46 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭