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zochunphy

铜虫 (小有名气)

[求助] CVD过程真关于低压充气氛的问题 已有2人参与

一般CVD制备石墨烯前都要对炉子进行抽真空,保持低压状态,那么问题来了,炉子里处于低压状态,如何在既保持炉子内低压状态通入气体,还能在低压状态下排出气体呢,因为炉子内的气压比外界小,那么气体只能进入炉子而不能排出啊。
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sidalixue

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
CVD一般是要讲究动态平衡的,就是说一边通入气体,一边通过泵抽出气体,从而达到平衡状态,稳定的气压和气氛
2楼2015-05-18 11:08:44
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zochunphy

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by sidalixue at 2015-05-18 11:08:44
CVD一般是要讲究动态平衡的,就是说一边通入气体,一边通过泵抽出气体,从而达到平衡状态,稳定的气压和气氛

多谢解答,这个我也想过,但是现在情况是这样,碳源为固态,在一定温度下分解为气态,如果直接用泵抽气使环境保持一定气压,有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出,无法参与反应。
3楼2015-05-18 11:30:15
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sidalixue

木虫 (正式写手)

引用回帖:
3楼: Originally posted by zochunphy at 2015-05-18 11:30:15
多谢解答,这个我也想过,但是现在情况是这样,碳源为固态,在一定温度下分解为气态,如果直接用泵抽气使环境保持一定气压,有没有可能分解出来的气态C相关物质被直接抽出,无法参与反应。...

有部分C是会被抽走的,不过不是一直通甲烷吗
4楼2015-05-18 15:33:36
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zochunphy

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by sidalixue at 2015-05-18 15:33:36
有部分C是会被抽走的,不过不是一直通甲烷吗...

PMMA做碳源。
5楼2015-05-18 15:41:41
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dancy1987

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

看你需要多大的真空度了,我现在是这么做的,不知道对不对。
如果需要低真空,一两百帕左右,那么在机械泵抽的情况下通100 sccm的气体,会保持在 100-200左右,
如果要再高点,可以预抽真空后,关掉泵,打开出气口,很小一点就行,这时管内压力大概在 2 kPa左右。

说到此,我也有一个问题,Atmospheric pressure 到底是多少?不是大气压吗?我在一个Nature Mater 文章中看到 他说这个压力是1 kPa左右,难道就是我说的后一种情况?
做一个有心人!
6楼2015-06-26 09:56:41
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dancy1987

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

我最近也开始用CVD生长MoS2了,刚建立一个群,CVD二硫化钼 160101386,希望大家都进来交流一下。
做一个有心人!
7楼2015-06-26 10:37:54
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