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zochunphy铜虫 (小有名气)
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CVD过程真关于低压充气氛的问题 已有2人参与
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| 一般CVD制备石墨烯前都要对炉子进行抽真空,保持低压状态,那么问题来了,炉子里处于低压状态,如何在既保持炉子内低压状态通入气体,还能在低压状态下排出气体呢,因为炉子内的气压比外界小,那么气体只能进入炉子而不能排出啊。 |
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3楼2015-05-18 11:30:15
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