24小时热门版块排行榜    

查看: 1504  |  回复: 6

zwj-

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻匀胶 已有5人参与

光刻胶匀胶一直不够均匀怎么解,转速从3000到6000,时间从30S到100S,这些基本全试了,湿度低于40%,温度室温。一直不够均匀,为数不多的几次均匀里也是出现细密的条纹,覆盖整个硅片。会是什么原因呢。谢谢

光刻匀胶
IMG_20150506_093717.jpg
回复此楼
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
2楼2015-05-07 18:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwj-

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-05-07 18:49:05
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。

谢谢,前期匀胶是500转,7S,然后高速。匀胶台我在查一下,胶的问题我也注意一下。谢谢
3楼2015-05-07 20:01:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zipperzinc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这种纹路看起来应该是晶圆的圆心与涂胶台的旋转轴心不同轴。还有就是滴胶时200-400rpm,滴完胶以500rpm左右转速慢旋数秒,再以较高转速2000-5000rpm高速甩胶,最后进入一个低速的慢旋
赠人玫瑰,手留余香
4楼2015-05-19 13:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

对吻鱼

荣誉版主 (文坛精英)

优秀区长优秀版主

【答案】应助回帖

我觉得转速太高了,降低一下
亲人是祖先留给我们的朋友,朋友是我们自己找到的亲人
5楼2015-05-19 21:58:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

perry_ping

新虫 (职业作家)


【答案】应助回帖

直接喷胶,胶层就相对比较均匀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2016-01-25 20:44:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zwj- at 2015-05-07 20:01:29
谢谢,前期匀胶是500转,7S,然后高速。匀胶台我在查一下,胶的问题我也注意一下。谢谢...

你好!你这个有可能是所谓的老虎斑,花纹处和非花纹处厚度是不是没有差异?还是出现了脊梁性花纹?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2018-03-17 16:01:34
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 学员0bMRfk 的主题更新
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 求调剂,一志愿:南京航空航天大学大学 ,080500材料科学与工程学硕,总分289分 +5 @taotao 2026-03-19 5/250 2026-03-24 21:07 by greychen00
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
[考研] 070300化学求调剂 +9 苑豆豆 2026-03-20 9/450 2026-03-24 17:15 by licg0208
[考研] 材料学硕,求调剂 6+3 糖葫芦888ll 2026-03-22 7/350 2026-03-24 17:11 by hello七七
[考研] 300求调剂,材料科学英一数二 +5 leaflight 2026-03-24 5/250 2026-03-24 16:25 by laoshidan
[考研] 277分求调剂,跨调材料 +3 考研调剂lxh 2026-03-24 3/150 2026-03-24 13:52 by JourneyLucky
[考研] 一志愿华东理工大学081700,初试分数271 +5 kotoko_ik 2026-03-23 6/300 2026-03-24 10:29 by 学术搬砖er
[考研] 一志愿北京化工大学 070300 学硕 336分 求调剂 +7 vv迷 2026-03-22 7/350 2026-03-23 23:44 by Txy@872106
[考研] 336化工调剂 +4 王大坦1 2026-03-23 5/250 2026-03-23 18:32 by allen-yin
[考研] 306求调剂 +9 chuanzhu川烛 2026-03-18 9/450 2026-03-23 13:17 by luoyongfeng
[考研] 一志愿华中农业071010,总分320求调剂 +5 困困困困坤坤 2026-03-20 6/300 2026-03-22 17:41 by hxsm
[考研] 求调剂院校信息 +6 CX 330 2026-03-21 6/300 2026-03-22 15:25 by 无懈可击111
[考研] 085600材料与化工306 +4 z1z2z3879 2026-03-21 4/200 2026-03-21 23:44 by ms629
[考研] 286求调剂 +10 Faune 2026-03-21 10/500 2026-03-21 23:34 by 314126402
[考研] 求调剂 +3 13341 2026-03-20 3/150 2026-03-21 18:28 by 学员8dgXkO
[考研] 0703化学297求调剂 +3 Daisy☆ 2026-03-20 3/150 2026-03-21 17:45 by ColorlessPI
[考研] 一志愿武理材料305分求调剂 +6 想上岸的鲤鱼 2026-03-18 7/350 2026-03-21 01:03 by JourneyLucky
[考研] 一志愿中海洋材料工程专硕330分求调剂 +8 小材化本科 2026-03-18 8/400 2026-03-20 23:16 by JourneyLucky
[考研] 295复试调剂 +8 简木ChuFront 2026-03-19 8/400 2026-03-20 20:44 by zhukairuo
[考研] 085410人工智能专硕317求调剂(0854都可以) +4 xbxudjdn 2026-03-18 4/200 2026-03-20 09:07 by 不168
信息提示
请填处理意见