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zwj-

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻匀胶已有5人参与

光刻胶匀胶一直不够均匀怎么解,转速从3000到6000,时间从30S到100S,这些基本全试了,湿度低于40%,温度室温。一直不够均匀,为数不多的几次均匀里也是出现细密的条纹,覆盖整个硅片。会是什么原因呢。谢谢

光刻匀胶
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
2楼2015-05-07 18:49:05
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zwj-

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-05-07 18:49:05
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。

谢谢,前期匀胶是500转,7S,然后高速。匀胶台我在查一下,胶的问题我也注意一下。谢谢
3楼2015-05-07 20:01:29
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zipperzinc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这种纹路看起来应该是晶圆的圆心与涂胶台的旋转轴心不同轴。还有就是滴胶时200-400rpm,滴完胶以500rpm左右转速慢旋数秒,再以较高转速2000-5000rpm高速甩胶,最后进入一个低速的慢旋
赠人玫瑰,手留余香
4楼2015-05-19 13:54:28
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对吻鱼

荣誉版主 (文坛精英)

优秀区长优秀版主

【答案】应助回帖

我觉得转速太高了,降低一下
亲人是祖先留给我们的朋友,朋友是我们自己找到的亲人
5楼2015-05-19 21:58:35
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perry_ping

新虫 (著名写手)


【答案】应助回帖

直接喷胶,胶层就相对比较均匀

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
6楼2016-01-25 20:44:59
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babyoflion

金虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by zwj- at 2015-05-07 20:01:29
谢谢,前期匀胶是500转,7S,然后高速。匀胶台我在查一下,胶的问题我也注意一下。谢谢...

你好!你这个有可能是所谓的老虎斑,花纹处和非花纹处厚度是不是没有差异?还是出现了脊梁性花纹?

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
7楼2018-03-17 16:01:34
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