24小时热门版块排行榜    

查看: 1583  |  回复: 6
当前只显示满足指定条件的回帖,点击这里查看本话题的所有回帖

zwj-

新虫 (初入文坛)

[求助] 光刻匀胶 已有5人参与

光刻胶匀胶一直不够均匀怎么解,转速从3000到6000,时间从30S到100S,这些基本全试了,湿度低于40%,温度室温。一直不够均匀,为数不多的几次均匀里也是出现细密的条纹,覆盖整个硅片。会是什么原因呢。谢谢

光刻匀胶
IMG_20150506_093717.jpg
回复此楼

» 猜你喜欢

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

对吻鱼

荣誉版主 (文坛精英)

优秀区长优秀版主

【答案】应助回帖

我觉得转速太高了,降低一下
亲人是祖先留给我们的朋友,朋友是我们自己找到的亲人
5楼2015-05-19 21:58:35
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 7 个回答

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。
由于您的签名过于个性,小木虫暂时无法显示。。。
2楼2015-05-07 18:49:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zwj-

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-05-07 18:49:05
有没有可能前级转速太高了,我这边低速一般是500转,10秒,然后高速。再者,匀胶台会不会高低不平?仔细检查下,如果以前涂胶都OK的话,那就有可能是胶过期了,不稳定了,胶的粘度不均匀了。

谢谢,前期匀胶是500转,7S,然后高速。匀胶台我在查一下,胶的问题我也注意一下。谢谢
3楼2015-05-07 20:01:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

zipperzinc

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

这种纹路看起来应该是晶圆的圆心与涂胶台的旋转轴心不同轴。还有就是滴胶时200-400rpm,滴完胶以500rpm左右转速慢旋数秒,再以较高转速2000-5000rpm高速甩胶,最后进入一个低速的慢旋
赠人玫瑰,手留余香
4楼2015-05-19 13:54:28
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天基金会出结果吗?20260819 +15 kkkl_v 2026-08-19 16/800 2026-08-21 11:22 by 365372687
[基金申请] filecode=后面第一个是大写字母 +11 wangze12014 2026-08-14 13/650 2026-08-21 11:00 by 大快人心啦
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧? +4 哈哈蛤? 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[论文投稿] 投稿咨询 +5 wwm09 2026-08-17 7/350 2026-08-21 10:11 by 期刊论文帮手
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 让我中一个面上吧! +10 大萍1987 2026-08-20 12/600 2026-08-21 09:31 by 020100099
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
[基金申请] 放榜前的不淡定 40+4 snowwithsea 2026-08-19 13/650 2026-08-21 08:30 by 北京莱茵编辑
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +22 yaoyewhu2008 2026-08-20 24/1200 2026-08-21 07:44 by DanielDDDD
[基金申请] 今日不放榜?网传国自然预计 8 月 27 日可查结果 +15 医学老男孩 2026-08-20 17/850 2026-08-20 20:35 by CaoLG
[基金申请] 时间戳又变了 +12 wuchongjun 2026-08-20 17/850 2026-08-20 20:05 by spzhao
[基金申请] 今天系统多次维护,明天很可能放榜! +10 zju2000 2026-08-16 11/550 2026-08-20 20:02 by cl479861084
[基金申请] 时间戳变了,能看出什么问题? +18 基诺咪客 2026-08-17 23/1150 2026-08-20 17:19 by Godzela
[基金申请] 重要消息,中午系统在维护 +11 yuleib84 2026-08-18 12/600 2026-08-20 11:09 by xskun
[基金申请] filecode,4个jtjc了 +11 ziyangfang 2026-08-19 13/650 2026-08-19 21:28 by aasahr
[教师之家] 为什么余额宝的年化利率越来越低?主要原因有哪些? +5 瞬息宇宙 2026-08-15 5/250 2026-08-19 20:23 by super2002521
[基金申请] 快农历七夕节了,轻松一下,男人悄悄话,女施主请不要进来。 +6 Tide man 2026-08-14 7/350 2026-08-19 09:56 by ZJTJZ
[基金申请] 今天维护系统维护 祝所有人 高中 +8 gjjjzhong 2026-08-18 9/450 2026-08-18 13:01 by 家与远方
[基金申请] 93BebMhtakh前后11位开头都是大写 +4 且听虎啸 2026-08-17 5/250 2026-08-18 00:49 by 蔡棒棒菂
[精细化工] 招聘 金属平磨液,抛光液研发工程师 +3 小天0311 2026-08-14 3/150 2026-08-16 07:31 by H9PLUS
信息提示
请填处理意见