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光刻匀胶已有5人参与
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光刻胶匀胶一直不够均匀怎么解，转速从3000到6000，时间从30S到100S，这些基本全试了，湿度低于40%，温度室温。一直不够均匀，为数不多的几次均匀里也是出现细密的条纹，覆盖整个硅片。会是什么原因呢。谢谢 IMG_20150506_093717.jpg |
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3楼2015-05-07 20:01:29