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王朋鸟

新虫 (初入文坛)

[求助] 关于AZ4620光刻胶与石英玻璃刻蚀问题

如题，问一下有没有大神做过AZ4620与石英玻璃 1：1用RIE刻蚀下去的，工艺参数如何，新人求教，感激不尽！
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1楼 2015-04-20 16:58:48
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fagege2010

铁虫 (小有名气)
成功了没有？想了解
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神马都是浮云
2楼2018-12-27 16:13:21
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