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关于AZ4620光刻胶与石英玻璃刻蚀问题
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| 如题，问一下有没有大神做过AZ4620与石英玻璃 1：1用RIE刻蚀下去的，工艺参数如何，新人求教，感激不尽！ |
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fagege2010
铁虫 (小有名气)
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2楼2018-12-27 16:13:21