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如果在硅片上溅射铜时减弱铜的附着力
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| 如题，需要在硅片上用溅射镀膜机镀一层铜，之前大概镀了100nm,镀完后附着力比较低，可以胶带纸粘着撕下，但是高温退火实验后，铜附着力提高，胶带纸粘不下来，请问，怎么减弱铜的附着力呢，需要在硅片和铜直接加一层什么膜吗 |
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