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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 电化基础 » 如果在硅片上溅射铜时减弱铜的附着力
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fymcome

新虫 (初入文坛)

[求助] 如果在硅片上溅射铜时减弱铜的附着力

如题，需要在硅片上用溅射镀膜机镀一层铜，之前大概镀了100nm,镀完后附着力比较低，可以胶带纸粘着撕下，但是高温退火实验后，铜附着力提高，胶带纸粘不下来，请问，怎么减弱铜的附着力呢，需要在硅片和铜直接加一层什么膜吗
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1楼 2015-04-20 09:53:49
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野人禾禾

金虫 (正式写手)
为什么又要减弱附着力呢？搞不懂
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擅长薄膜材料工艺，欢迎交流captain0119
3楼2015-04-30 18:57:48
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