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fymcome

新虫 (初入文坛)

[求助] 如果在硅片上溅射铜时减弱铜的附着力

如题,需要在硅片上用溅射镀膜机镀一层铜,之前大概镀了100nm,镀完后附着力比较低,可以胶带纸粘着撕下,但是高温退火实验后,铜附着力提高,胶带纸粘不下来,请问,怎么减弱铜的附着力呢,需要在硅片和铜直接加一层什么膜吗
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fymcome

新虫 (初入文坛)

2楼2015-04-22 10:32:18
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野人禾禾

金虫 (正式写手)

为什么又要减弱附着力呢?搞不懂
擅长薄膜材料工艺,欢迎交流captain0119
3楼2015-04-30 18:57:48
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