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TiN膜不遵循化学计量比,文献中提到氮分压对其化学计量比没有影响,什么意思呢?
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"thereby the nitrogen partial pressure during deposition does not have a large influence on the stoichiometry of the film" 上面是文献在提及到的,对于TiN膜,遵循化学计量比与否,对其有什么影响呢?怎么理解上面这句话呢?菜鸟请教下 |
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