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TiN膜不遵循化学计量比，文献中提到氮分压对其化学计量比没有影响，什么意思呢?
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"thereby the nitrogen partial pressure during deposition does not have a large influence on the stoichiometry of the film" 上面是文献在提及到的，对于TiN膜，遵循化学计量比与否，对其有什么影响呢？怎么理解上面这句话呢？菜鸟请教下 |
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