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xsz2013

铜虫 (小有名气)

[求助] TiN膜不遵循化学计量比,文献中提到氮分压对其化学计量比没有影响,什么意思呢?

"thereby the nitrogen partial pressure during deposition does not have a large influence on the stoichiometry of the film"
上面是文献在提及到的,对于TiN膜,遵循化学计量比与否,对其有什么影响呢?怎么理解上面这句话呢?菜鸟请教下
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

请教了,没人吗

[ 发自小木虫客户端 ]
2楼2015-04-16 21:02:15
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

请教各位!
3楼2015-04-18 23:58:31
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