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静忆hh

铜虫 (初入文坛)

[求助] 求助，磁控溅射镀膜，加偏压，只有电流没有电压。靶材起辉正常。 已有2人参与

求助，磁控溅射镀膜，加偏压，只有电流没有电压。靶材起辉正常。
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1楼 2015-03-25 14:54:30
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1142211017

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
其实没有特别明白楼主的意思，我觉得是这样的，启辉得到时候看你控制用的什么模式，如：电流、电压、功率模式都可以，并且它们之间是有一种转化的。比如0.1A左右的电流，和20W的功率可能沉积速率是差不多的。希望对你有帮助
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不要做让自己看不起的事情
2楼2015-03-25 18:35:32
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静忆hh

铜虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 1142211017 at 2015-03-25 18:35:32
其实没有特别明白楼主的意思，我觉得是这样的，启辉得到时候看你控制用的什么模式，如：电流、电压、功率模式都可以，并且它们之间是有一种转化的。比如0.1A左右的电流，和20W的功率可能沉积速率是差不多的。希望对 ...

可能是我表达的不太清楚。起辉什么的都是正常的。加偏压的时候，只有偏压电流，没有偏压电压。
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3楼2015-03-26 12:11:58
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q297515943

银虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

是你换靶材的时候，外面的那个外壳距离靶材太近的原因，你可以试着往外拧一拧~
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努力就好~
4楼2015-04-10 19:43:43
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