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tonggege铜虫 (初入文坛)
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CVD制备TiN薄膜 已有1人参与
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| 如题，需要通过CVD的方法在在金属钽片上制备一层大概1um的TiN薄膜，用于电化学氢渗透的测试，与PVD制备的TiN薄膜进行对比，请问哪里有专门用CVD制备TiN薄膜的设备，最好是在武汉或周边 |
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tonggege
铜虫 (初入文坛)
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送红花一朵 
3楼2015-04-01 16:48:30
【答案】应助回帖
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tonggege: 金币+28, ★有帮助 2015-04-10 14:51:14
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2楼2015-04-01 06:02:05
4楼2015-04-10 16:47:40
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