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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 复合材料 » 陶瓷基 » CVD制备TiN薄膜
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tonggege

铜虫 (初入文坛)

[求助] CVD制备TiN薄膜已有1人参与

如题，需要通过CVD的方法在在金属钽片上制备一层大概1um的TiN薄膜，用于电化学氢渗透的测试，与PVD制备的TiN薄膜进行对比，请问哪里有专门用CVD制备TiN薄膜的设备，最好是在武汉或周边
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阳光总在风雨后，莫言天道不酬勤~~~
1楼2015-03-16 14:28:56
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tonggege

铜虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 麦基啊麦基 at 2015-04-01 06:02:05
沈阳拓荆
www.sypiotech.cn

看了公司简介，好像这家公司是专门研究和生产专用薄膜设备的，他们可以代做TiN薄膜吗，我这边提供金属钽片基体
赞一下 回复此楼
阳光总在风雨后，莫言天道不酬勤~~~
3楼2015-04-01 16:48:30
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