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tonggege

铜虫 (初入文坛)

[求助] CVD制备TiN薄膜 已有1人参与

如题,需要通过CVD的方法在在金属钽片上制备一层大概1um的TiN薄膜,用于电化学氢渗透的测试,与PVD制备的TiN薄膜进行对比,请问哪里有专门用CVD制备TiN薄膜的设备,最好是在武汉或周边
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阳光总在风雨后,莫言天道不酬勤~~~
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麦基啊麦基

铜虫 (初入文坛)

【答案】应助回帖

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tonggege: 金币+28, 有帮助 2015-04-10 14:51:14
沈阳拓荆
www.sypiotech.cn

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2楼2015-04-01 06:02:05
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tonggege

铜虫 (初入文坛)

送红花一朵
引用回帖:
2楼: Originally posted by 麦基啊麦基 at 2015-04-01 06:02:05
沈阳拓荆
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看了公司简介,好像这家公司是专门研究和生产专用薄膜设备的,他们可以代做TiN薄膜吗,我这边提供金属钽片基体
阳光总在风雨后,莫言天道不酬勤~~~
3楼2015-04-01 16:48:30
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麦基啊麦基

铜虫 (初入文坛)

引用回帖:
3楼: Originally posted by tonggege at 2015-04-01 16:48:30
看了公司简介,好像这家公司是专门研究和生产专用薄膜设备的,他们可以代做TiN薄膜吗,我这边提供金属钽片基体...

这个我真不太清楚,可以私信我细聊

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4楼2015-04-10 16:47:40
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