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n370470948

银虫 (正式写手)

[交流] 求教PMMA旋涂的实验方法 已有13人参与

PMMA旋涂在GaN片上,首先是不是要把PMMA用有机溶剂溶掉,比如甲苯?,然后旋涂,干燥,请问一般溶解时配PMMA浓度以及干燥的温度,有接触的过吗?干燥温度50℃能去掉甲苯吗?文献的方法,谢谢大家了。
A thin layer of PMMA was partly coated on
the p-type GaN film to serve as an insulating layer. After
the substrate was heated at 50°C for 20 min to improve
the quality of the PMMA, a single ZnO MR was trans-
ferred to the prepared p-GaN substrate and crossed the
boundary with the p-GaN and PMMA.
求教PMMA旋涂的实验方法
1111.JPG
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zhoujun6721

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
PMMA溶于甲苯表较好,因为就不会挥发太快,温度90度左右比较好1-5分钟都可以
ejzhou
8楼2015-02-03 00:26:30
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普通回帖

nancy10214

新虫 (初入文坛)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
可以直接买厚度合适的PMMA,比如苏州锐材半导体。
如果楼主实在要自己溶解,不建议用甲苯,还是用苯甲醚吧!
2楼2015-01-30 17:43:14
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aliancer

木虫 (正式写手)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
据我用过的,苯甲醚和氯仿都可以,苯甲醚相对来说溶解效果好些,但注意安全。用旋涂的方法涂了之后,可以直接在通风处缓慢干燥,对温度没有非常强的要求
哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
3楼2015-01-30 21:06:19
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n370470948

银虫 (正式写手)

引用回帖:
2楼: Originally posted by nancy10214 at 2015-01-30 17:43:14
可以直接买厚度合适的PMMA,比如苏州锐材半导体。
如果楼主实在要自己溶解,不建议用甲苯,还是用苯甲醚吧!

厚度合适的PMMA?我再锐材半导体首页没看到有卖这个的啊,可否贴出详细网址,。谢谢啊
甲苯跟苯甲醚溶剂都可以,那么苯甲醚的PMMA溶胶在旋涂后,多少度干燥呢?
4楼2015-01-30 21:08:24
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zhoujngyuan

新虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我的做法是用乳酸乙酯溶解掉PMMA粉末配制溶液,其实也可以用氯仿或二氯吧,但毒性大。用溶液旋涂2000转,然后150度热台烘烤5分钟。除胶用丙酮。
5楼2015-02-01 23:07:29
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堕落de天性

银虫 (小有名气)

大黄??

[ 发自小木虫客户端 ]
What's-wrong-with-me......
6楼2015-02-02 01:25:11
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翔弟

银虫 (小有名气)


小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
我是旋涂之后 180度加热1分半钟就可以了
7楼2015-02-02 09:32:01
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n370470948

银虫 (正式写手)

引用回帖:
8楼: Originally posted by zhoujun6721 at 2015-02-03 00:26:30
PMMA溶于甲苯表较好,因为就不会挥发太快,温度90度左右比较好1-5分钟都可以

非常感谢~~~甲苯沸点110.6℃,PMMA玻璃化温度105℃,你的应该比较靠谱~~
9楼2015-02-03 15:14:06
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11

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2015-02-03 16:34:15
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