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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 求教PMMA旋涂的实验方法
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n370470948

银虫 (正式写手)

[交流] 求教PMMA旋涂的实验方法 已有13人参与

PMMA旋涂在GaN片上，首先是不是要把PMMA用有机溶剂溶掉，比如甲苯？，然后旋涂，干燥，请问一般溶解时配PMMA浓度以及干燥的温度，有接触的过吗？干燥温度50℃能去掉甲苯吗？文献的方法，谢谢大家了。
A thin layer of PMMA was partly coated on
the p-type GaN film to serve as an insulating layer. After
the substrate was heated at 50°C for 20 min to improve
the quality of the PMMA, a single ZnO MR was trans-
ferred to the prepared p-GaN substrate and crossed the
boundary with the p-GaN and PMMA.
求教PMMA旋涂的实验方法
1111.JPG
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1楼 2015-01-30 17:28:53
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zhoujun6721

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
PMMA溶于甲苯表较好，因为就不会挥发太快，温度90度左右比较好1-5分钟都可以
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ejzhou
8楼2015-02-03 00:26:30
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普通回帖

nancy10214

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
可以直接买厚度合适的PMMA，比如苏州锐材半导体。
如果楼主实在要自己溶解，不建议用甲苯，还是用苯甲醚吧！
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2楼2015-01-30 17:43:14
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aliancer

木虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
据我用过的，苯甲醚和氯仿都可以，苯甲醚相对来说溶解效果好些，但注意安全。用旋涂的方法涂了之后，可以直接在通风处缓慢干燥，对温度没有非常强的要求
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哀吾生之须臾,羡长江之无穷;挟飞仙以遨游,抱明月而长终;知不可乎骤得,托遗响于悲风
3楼2015-01-30 21:06:19
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n370470948

银虫 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by nancy10214 at 2015-01-30 17:43:14
可以直接买厚度合适的PMMA，比如苏州锐材半导体。
如果楼主实在要自己溶解，不建议用甲苯，还是用苯甲醚吧！

厚度合适的PMMA？我再锐材半导体首页没看到有卖这个的啊，可否贴出详细网址，。谢谢啊
甲苯跟苯甲醚溶剂都可以，那么苯甲醚的PMMA溶胶在旋涂后，多少度干燥呢？
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4楼2015-01-30 21:08:24
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zhoujngyuan

新虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我的做法是用乳酸乙酯溶解掉PMMA粉末配制溶液，其实也可以用氯仿或二氯吧，但毒性大。用溶液旋涂2000转，然后150度热台烘烤5分钟。除胶用丙酮。
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5楼2015-02-01 23:07:29
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堕落de天性

银虫 (小有名气)
大黄？？

[ 发自小木虫客户端 ]
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What's-wrong-with-me......
6楼2015-02-02 01:25:11
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翔弟

银虫 (小有名气)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
我是旋涂之后 180度加热1分半钟就可以了
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7楼2015-02-02 09:32:01
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n370470948

银虫 (正式写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by zhoujun6721 at 2015-02-03 00:26:30
PMMA溶于甲苯表较好，因为就不会挥发太快，温度90度左右比较好1-5分钟都可以

非常感谢~~~甲苯沸点110.6℃，PMMA玻璃化温度105℃，你的应该比较靠谱~~
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9楼2015-02-03 15:14:06
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御天君
11

[ 发自小木虫客户端 ]
10楼2015-02-03 16:34:15
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