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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 光学材料 » SiO2增透膜基底选择单晶硅或者载玻片
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)

[求助] SiO2增透膜基底选择单晶硅或者载玻片 已有3人参与

碱催化的SiO2增透膜，使用提拉法镀膜时，在单晶硅片上镀膜和载玻片上镀膜的膜折射率和厚度有变化吗，可以用单晶硅片代替载玻片测试薄膜折射率和厚度吗？
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zhengwei409

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1楼 2015-01-26 10:19:03
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回帖支持 ( 显示支持度最高的前 50 名 )

caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池
引用回帖:
4楼: Originally posted by zhengwei409 at 2015-01-26 20:20:59
增透膜在k9玻璃上镀膜很多啊，而且文献中也有用单晶硅片一起镀膜测试折射率厚度的啊...

材料的成分、结构决定了材料的性能，在不同衬底上制备sio2毕竟还是有些差距，但不会太大，两种衬底生长的sio2薄膜光学性能也是很接近的；硅片表面容易氧化，会使测试结果偏厚；玻璃上镀膜。用光学法测试膜厚，准确性较差
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zhengwei409
5楼2015-01-26 21:56:21
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普通回帖

ivansdk

木虫 (正式写手)

优秀版主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
不清楚你这种镀膜方式
不过薄膜成核生长的过程在很大程度上取决于衬底表面能够提供的形核位。
单晶上的膜应该更规则，载玻片上的应该更无序吧。
厚度也会有区别。
为什么不能用载玻片来测呢？好像没什么区别啊。
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莫问前程
2楼2015-01-26 11:29:55
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
区别大了，既然是增透膜，就要考虑膜系设计，目前这块已经很成熟了
硅的折射率为3.5
玻璃的折射率为1.5
SiO2薄膜虽说是可调，一般为与玻璃接近，1.5左右
SiO2薄膜对于Si是增透的，但对于玻璃效果不佳。
建议补充基础知识：现代光学薄膜技术，
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    • 2015-01-26 19:34:34, 33.98 M
3楼2015-01-26 19:31:29
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-26 19:31:29
区别大了，既然是增透膜，就要考虑膜系设计，目前这块已经很成熟了
硅的折射率为3.5
玻璃的折射率为1.5
SiO2薄膜虽说是可调，一般为与玻璃接近，1.5左右
SiO2薄膜对于Si是增透的，但对于玻璃效果不佳。
建议补 ...

增透膜在k9玻璃上镀膜很多啊，而且文献中也有用单晶硅片一起镀膜测试折射率厚度的啊
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4楼2015-01-26 20:20:59
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
лл
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6楼2015-01-27 10:09:35
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)
送红花一朵
引用回帖:
5楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-26 21:56:21
材料的成分、结构决定了材料的性能，在不同衬底上制备sio2毕竟还是有些差距，但不会太大，两种衬底生长的sio2薄膜光学性能也是很接近的；硅片表面容易氧化，会使测试结果偏厚；玻璃上镀膜。用光学法测试膜厚，准确 ...

谢谢
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7楼2015-01-27 10:10:00
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梅小婷

木虫 (小有名气)
同行
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路漫漫其修远兮，吾将上下而求索
8楼2015-03-27 17:11:31
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)
我很多不懂的新课题，请教啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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9楼2015-03-27 21:13:49
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zhengwei409

银虫 (初入文坛)
引用回帖:
8楼: Originally posted by 梅小婷 at 2015-03-27 17:11:31
同行

我很多不懂的，做得新课题，指教啊

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
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10楼2015-03-27 21:14:12
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