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zhengwei409银虫 (初入文坛)
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[求助]
SiO2增透膜基底选择单晶硅或者载玻片 已有3人参与
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| 碱催化的SiO2增透膜，使用提拉法镀膜时，在单晶硅片上镀膜和载玻片上镀膜的膜折射率和厚度有变化吗，可以用单晶硅片代替载玻片测试薄膜折射率和厚度吗？ |
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zhengwei409
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4楼2015-01-26 20:20:59
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2楼2015-01-26 11:29:55
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【答案】应助回帖
感谢参与，应助指数 +1
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区别大了，既然是增透膜，就要考虑膜系设计，目前这块已经很成熟了 硅的折射率为3.5 玻璃的折射率为1.5 SiO2薄膜虽说是可调，一般为与玻璃接近，1.5左右 SiO2薄膜对于Si是增透的，但对于玻璃效果不佳。 建议补充基础知识：现代光学薄膜技术， |
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2015-01-26 19:34:34, 33.98 M
3楼2015-01-26 19:31:29
caoxiafei
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材料的成分、结构决定了材料的性能，在不同衬底上制备sio2毕竟还是有些差距，但不会太大，两种衬底生长的sio2薄膜光学性能也是很接近的；硅片表面容易氧化，会使测试结果偏厚；玻璃上镀膜。用光学法测试膜厚，准确性较差 |
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5楼2015-01-26 21:56:21
