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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 150度烘烤的负胶去除
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devenfish

新虫 (初入文坛)

[交流] 150度烘烤的负胶去除 已有3人参与

我的片子要光刻后150度烘烤2小时，光刻胶碳化了，有没有办法用比较温和的办法去除掉，同时不能影响片子上其他物料。
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1楼 2015-01-13 20:08:16
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spiderman504

金虫 (小有名气)
★
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你这么穷？一个金币都不给我？你片子上是什么材料，要说一下吧？如果是外延片，那拿浓硫酸加双氧水试一下。有金属的话，就丙酮超声吧，多超会。话说什么胶要烘2个小时啊，是不是你吃饭忘了取出来？
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
3楼2015-01-13 23:46:00
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exciting73

金虫 (著名写手)
★
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除了光刻胶之外其他材料是什么
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2楼2015-01-13 20:47:19
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devenfish

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-13 20:47:19
除了光刻胶之外其他材料是什么

我的片子上是硅胶，透明硅胶，要求的是是能去除光刻胶但是不能腐蚀硅胶。据说有人用抛光的方法能去除光刻胶，不知道是怎么搞得。
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4楼2015-01-14 12:55:52
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PXweng

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
做萤光粉涂布工艺的吧，你是于先生吗？我是翁
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有事电话说嘛13925288900
5楼2015-01-24 16:55:09
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