应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 光刻后去胶不均匀怎么解决
252/3返回列表上一页123下一页
查看: 3989  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。
赞一下 回复此楼
11楼2015-01-14 10:58:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:34:49
间距减小之后才这样，用的负胶。光刻胶没问题，做间距大的能显影很好...

2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都不行，我觉得不太可能显影干净了，试着调整参数吧。

你涂胶有多厚？光刻后准备接下来做什么？曝光量是多少？你说曝光时间45s,紫外灯的辐射功率呢？

光刻胶没问题，你用了多久？
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
12楼2015-01-14 11:05:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鸿鹄北翔

金虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

显影时间好长哦
回复此楼
渴望交流碰出智慧的火花
13楼2015-01-14 12:08:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 10:58:09
胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。...

大约厚1um
回复此楼
14楼2015-01-14 13:10:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-01-14 11:05:31
2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都 ...

我们没有买光刻胶，用的其他老师的光刻胶，不稀释我们用不了。那我调整前烘后烘时间以及曝光量试试吧
赞一下 回复此楼
15楼2015-01-14 13:13:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 13:10:25
大约厚1um...

后烘时间减少一些试试
赞一下 回复此楼
16楼2015-01-14 13:48:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

未完成的泉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
7楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:28:49
显影液没有稀释，显影了30分钟还是不行。
同样条件，尺寸大的掩模板做出来的效果很好。...

尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
17楼2015-01-14 13:51:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rain开心就好

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nono2009: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 复制他人回复，请勿刷应助 2015-01-15 09:33:15
本帖内容被屏蔽
18楼2015-01-14 14:46:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 未完成的泉 at 2015-01-14 13:51:39
尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，
...

尺寸变小后，其他条件你们是怎么变的呢
赞一下 回复此楼
19楼2015-01-14 16:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jasenkingjoy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是匀胶的厚度太厚了，没有爆透？
赞一下 回复此楼
20楼2015-01-14 20:11:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 丫丫^_^ 的主题更新
252/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 7/350 2026-08-04 03:35 by k7OM8YghWbkC
[论文投稿] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 6/300 2026-08-04 03:34 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 jRl3mE6ddZGq 2026-08-03 5/250 2026-08-04 03:30 by k7OM8YghWbkC
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 7/350 2026-08-04 03:27 by k7OM8YghWbkC
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 4/200 2026-08-04 03:25 by k7OM8YghWbkC
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 8/400 2026-08-04 03:21 by k7OM8YghWbkC
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 12/600 2026-08-04 03:17 by k7OM8YghWbkC
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 cu9Nq1xK233Z 2026-08-03 7/350 2026-08-04 02:10 by Ocx3OKOzGU4q
[基金申请] 什么时候能放榜呀？ +3 Jacob678 2026-08-03 3/150 2026-08-03 16:14 by gltch
[有机交流] 一个有机合成实验室都需要哪些设备？ 50+3 kf2781974 2026-07-31 8/400 2026-08-03 16:02 by yanghuping
[高分子] UV压敏胶开发 +3 ichall 2026-07-30 5/250 2026-08-03 14:40 by Sunrisepay
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 16/800 2026-08-03 12:23 by fuweiguochen
[基金申请] 面上再次挂了，太难了，躺也躺不了，倦也卷不过，小学校之殇！ +19 低垂的野花 2026-07-31 25/1250 2026-08-03 09:25 by gy116024
[基金申请] 2026年国自然面上资助率 +16 布布和一二 2026-07-30 22/1100 2026-08-03 09:20 by gy116024
[教师之家] 基础研究怎么拉横向，学校到款任务越来越多，难以完成 拉横向，都有哪些途径啊 +8 锦衣卫寒战 2026-07-28 12/600 2026-08-03 08:22 by syl200707
[基金申请] 微信指数没变化，科研之友没阅读 +15 wangze12014 2026-07-28 19/950 2026-08-02 20:05 by 蔡棒棒菂
[考博] 2027年申博 50+3 射雕英雄胜 2026-07-30 3/150 2026-08-02 09:36 by lfy8008
[高分子] HXDI做水性聚氨酯乳液，是不是特别容易出渣 15+3 yuyusuv 2026-07-29 3/150 2026-07-31 09:21 by huizingga
[基金申请] 系统今天又提示维护了，估计离放榜不远了 +11 winnerche 2026-07-29 15/750 2026-07-30 23:08 by jnhyjjm
[基金申请] 你们的时间戳变了吗 +3 archvillain 2026-07-30 4/200 2026-07-30 18:53 by levinzhwen
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭