应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 光刻后去胶不均匀怎么解决
252/3返回列表上一页123下一页
查看: 4074  |  回复: 24
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。
赞一下 回复此楼
11楼2015-01-14 10:58:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:34:49
间距减小之后才这样，用的负胶。光刻胶没问题，做间距大的能显影很好...

2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都不行，我觉得不太可能显影干净了，试着调整参数吧。

你涂胶有多厚？光刻后准备接下来做什么？曝光量是多少？你说曝光时间45s,紫外灯的辐射功率呢？

光刻胶没问题，你用了多久？
赞一下 回复此楼
由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
12楼2015-01-14 11:05:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

鸿鹄北翔

金虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

显影时间好长哦
回复此楼
渴望交流碰出智慧的火花
13楼2015-01-14 12:08:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 10:58:09
胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。...

大约厚1um
回复此楼
14楼2015-01-14 13:10:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-01-14 11:05:31
2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都 ...

我们没有买光刻胶，用的其他老师的光刻胶，不稀释我们用不了。那我调整前烘后烘时间以及曝光量试试吧
赞一下 回复此楼
15楼2015-01-14 13:13:24
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 13:10:25
大约厚1um...

后烘时间减少一些试试
赞一下 回复此楼
16楼2015-01-14 13:48:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

未完成的泉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
7楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:28:49
显影液没有稀释，显影了30分钟还是不行。
同样条件，尺寸大的掩模板做出来的效果很好。...

尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，

[ 发自小木虫客户端 ]
赞一下 回复此楼
17楼2015-01-14 13:51:39
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rain开心就好

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nono2009: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 复制他人回复，请勿刷应助 2015-01-15 09:33:15
本帖内容被屏蔽
18楼2015-01-14 14:46:50
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 未完成的泉 at 2015-01-14 13:51:39
尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，
...

尺寸变小后，其他条件你们是怎么变的呢
赞一下 回复此楼
19楼2015-01-14 16:55:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jasenkingjoy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是匀胶的厚度太厚了，没有爆透？
赞一下 回复此楼
20楼2015-01-14 20:11:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 丫丫^_^ 的主题更新
252/3返回列表上一页123下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +7 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 9/450 2026-09-15 14:10 by VMDqgnlKimtZ
[基金申请] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 40ms4Wlo4umh 2026-09-14 3/150 2026-09-15 10:02 by VMDqgnlKimtZ
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 09:38 by VMDqgnlKimtZ
[教师之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 3/150 2026-09-15 08:14 by C79jjtjAKjEn
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 6F5UbRU2I5hL 2026-09-14 4/200 2026-09-15 08:02 by C79jjtjAKjEn
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-15 07:02 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:49 by 5BDX0d0WFp7t
[公派出国] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-15 06:38 by 5BDX0d0WFp7t
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:14 by 5BDX0d0WFp7t
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +4 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-15 06:02 by 5BDX0d0WFp7t
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 6/300 2026-09-15 05:38 by 5BDX0d0WFp7t
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 23jxep3nCNZb 2026-09-14 3/150 2026-09-15 01:21 by mibUvS8DDCwf
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 4/200 2026-09-14 23:24 by vZfe6xYu34yj
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-13 5/250 2026-09-14 23:13 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:13 by vZfe6xYu34yj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 4/200 2026-09-14 21:37 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:25 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-14 17:48 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后 +3 马方园 2026-09-10 4/200 2026-09-14 09:29 by Chem张zz
[考博] 27秋季材料博士申请求助 10+3 Cahal1 2026-09-11 4/200 2026-09-14 08:50 by 北京莱茵编辑
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭