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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 综合其他 » 光刻后去胶不均匀怎么解决
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。
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11楼2015-01-14 10:58:09
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spiderman504

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
10楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:34:49
间距减小之后才这样，用的负胶。光刻胶没问题，做间距大的能显影很好...

2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都不行，我觉得不太可能显影干净了，试着调整参数吧。

你涂胶有多厚？光刻后准备接下来做什么？曝光量是多少？你说曝光时间45s,紫外灯的辐射功率呢？

光刻胶没问题，你用了多久？
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由于您的签名过于个性，小木虫暂时无法显示。。。
12楼2015-01-14 11:05:31
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鸿鹄北翔

金虫 (正式写手)
引用回帖:
9楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:33:26
间距2um，
用的稀释过的光刻胶。
前烘100℃，10min，
曝光45s，
后烘100℃，5min
显影30min，以前做尺寸比较大的掩模板，3min就能显很好...

显影时间好长哦
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渴望交流碰出智慧的火花
13楼2015-01-14 12:08:24
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丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
11楼: Originally posted by exciting73 at 2015-01-14 10:58:09
胶厚多少？
显影30 min都没有显干净吗？
显影一段时间后换新的显影液在接着显影试试。...

大约厚1um
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14楼2015-01-14 13:10:25
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丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
12楼: Originally posted by spiderman504 at 2015-01-14 11:05:31
2μm的线宽，为什么要用稀释的光刻胶？很多光刻胶都能做到这个线宽。我们实验室的胶，也没见前烘后烘时间这么长的，不超过2分钟，显影时间也不会超过2分钟。

照你说的，之前3分钟就能显影干净，现在显影30分钟都 ...

我们没有买光刻胶，用的其他老师的光刻胶，不稀释我们用不了。那我调整前烘后烘时间以及曝光量试试吧
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15楼2015-01-14 13:13:24
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exciting73

金虫 (著名写手)
引用回帖:
14楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 13:10:25
大约厚1um...

后烘时间减少一些试试
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16楼2015-01-14 13:48:42
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未完成的泉

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
7楼: Originally posted by 丫丫^_^ at 2015-01-14 09:28:49
显影液没有稀释，显影了30分钟还是不行。
同样条件，尺寸大的掩模板做出来的效果很好。...

尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，

[ 发自小木虫客户端 ]
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17楼2015-01-14 13:51:39
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rain开心就好

铜虫 (小有名气)
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
nono2009: 金币-5, 应助指数-1, 屏蔽内容, 违规存档, 复制他人回复，请勿刷应助 2015-01-15 09:33:15
本帖内容被屏蔽
18楼2015-01-14 14:46:50
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丫丫^_^

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
17楼: Originally posted by 未完成的泉 at 2015-01-14 13:51:39
尺寸不一样条件能一样的？我们都是有改变的，
...

尺寸变小后，其他条件你们是怎么变的呢
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19楼2015-01-14 16:55:44
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jasenkingjoy

木虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
是不是匀胶的厚度太厚了，没有爆透？
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20楼2015-01-14 20:11:17
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