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yymatmuchong

银虫 (小有名气)

[求助] 非晶薄膜和部分晶化薄膜问题 已有1人参与

制备得到氧化硼薄膜本以为是非晶的,但是测试XRD发现去掉si衬底峰后28,58两个峰能对应到,这种现象应该如何解释,是否可以解释为氧化硼部分晶化?
非晶薄膜和部分晶化薄膜问题
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yymatmuchong

银虫 (小有名气)

求前辈帮助!!!!!!
2楼2015-01-12 15:34:37
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yymatmuchong

银虫 (小有名气)

顶。。。。。。
3楼2015-01-12 20:44:19
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
去掉硅衬底峰,还有那么多峰,估计你的不是氧化硼,去做个成分分析吧,SEM-EDX
4楼2015-01-13 08:48:01
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yymatmuchong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-13 08:48:01
去掉硅衬底峰,还有那么多峰,估计你的不是氧化硼,去做个成分分析吧,SEM-EDX

Si衬底峰没有去掉,就两个峰对上应该怎么解释
5楼2015-01-13 08:49:34
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yymatmuchong

银虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by caoxiafei at 2015-01-13 08:48:01
去掉硅衬底峰,还有那么多峰,估计你的不是氧化硼,去做个成分分析吧,SEM-EDX

就两个峰对上了,其他是硅的峰
6楼2015-01-13 08:58:17
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caoxiafei

专家顾问 (著名写手)

研发工程师-Topcon/HJT电池

【答案】应助回帖

★ ★
yymatmuchong: 金币+2, 有帮助, 谢谢!!! 2015-01-14 21:23:30
刚才看了下,那两个峰是对应的是B2O3的(310)和(620)衍射峰,如果是真的说明你的薄膜是沿(310)面择优取向的,
7楼2015-01-13 10:10:50
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