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XPS分析:如何根据灵敏度因子法,求出薄膜中的Ti/O元素比? 已有1人参与
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元素原子比公式为:Ti/O=(I1/S1)/(I2/S2) 问:①式中I1是Ti的峰面积,但这峰面积指的是2p3/2,还是2p1/2的峰面积呢?或者是二者之和??? ②有没有哪位朋友能查得到,Ti 和 O的灵敏度因子?分别是多少呢? 还请虫友不吝赐教啊!在此谢过! |
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