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qazbnm

铁虫 (小有名气)

[求助] XPS分析:如何根据灵敏度因子法,求出薄膜中的Ti/O元素比? 已有1人参与

元素原子比公式为:Ti/O=(I1/S1)/(I2/S2)

问:①式中I1是Ti的峰面积,但这峰面积指的是2p3/2,还是2p1/2的峰面积呢?或者是二者之和???


    ②有没有哪位朋友能查得到,Ti 和 O的灵敏度因子?分别是多少呢?

还请虫友不吝赐教啊!在此谢过!
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dwysd

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qazbnm: 金币+5, ★★★很有帮助 2015-01-11 16:21:38
如果Ti的灵敏度因子是Ti2p的,那么面积就应该是Ti2p1/2和Ti2p3/2之和。
各元素灵敏度因子在网上能查到,自己动手,丰衣足食!
2楼2015-01-11 11:34:27
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