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XPS分析:如何根据灵敏度因子法,求出薄膜中的Ti/O元素比?
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qazbnm
铁虫
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虫号: 2996367
注册: 2014-02-26
专业: 玻璃材料
[
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]
XPS分析:如何根据灵敏度因子法,求出薄膜中的Ti/O元素比?
已有1人参与
元素原子比公式为:Ti/O=(I1/S1)/(I2/S2)
问:①式中I1是Ti的峰面积,但这峰面积指的是2p3/2,还是2p1/2的峰面积呢?或者是二者之和???
②有没有哪位朋友能查得到,Ti 和 O的灵敏度因子?分别是多少呢?
还请虫友不吝赐教啊!在此谢过!
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1楼
2015-01-10 22:03:01
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dwysd
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专业: 半导体材料
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
qazbnm: 金币+5,
★★★
很有帮助
2015-01-11 16:21:38
如果Ti的灵敏度因子是Ti2p的,那么面积就应该是Ti2p1/2和Ti2p3/2之和。
各元素灵敏度因子在网上能查到,自己动手,丰衣足食!
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2楼
2015-01-11 11:34:27
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