| 查看: 3025 | 回复: 10 | |||
| 当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖 | |||
czz_iecas金虫 (初入文坛)
|
[求助]
聚酰亚胺薄膜去除方法 已有3人参与
|
||
|
小虫做MEMS工艺的，其中一步需要旋涂聚酰亚胺薄膜保护器件，最后需要去除。一直使用的是干法RIE打氧去除，但是时间很长，所以想问一下有没有做过这方面实验的虫虫，能提供一些去除思路，未亚胺化和亚胺化之后的去除方法都可以，干法和湿法均可，希望去除效率高一些的。新人发帖，希望友好的虫虫们给力回复啊～十分感谢，奉上金币！ [ 发自手机版 http://muchong.com/3g ] |
回复此楼» 猜你喜欢
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有6人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
金属材料论文润色/翻译怎么收费?
已经有70人回复
-
稀土发光分析｜核壳结构｜寿命拟合
已经有0人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程硕士（液体纳米分散染料方向）求申博建议
已经有4人回复
-
26 届青岛大学纺织化学与染整工程（液体纳米分散染料）求浙理工纺织 / 材料博导名额
已经有1人回复
-
敢问Acta Pharmaceutica Sinica B with Editor 三周了，能是什么情况？
已经有0人回复
-
求助 CeO2 Fe3O4 Cu2S CoFe2O4 标准卡 Jade 导出的数据
已经有0人回复
-
求助一篇MEMS散热器件文献
已经有0人回复
-
材化专业SCI论文（职称评定）
已经有0人回复
jackeywell
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 593.5
- 帖子: 12
- 在线: 14.7小时
- 虫号: 3064550
- 注册: 2014-03-17
- 性别: GG
- 专业: 半导体晶体与薄膜材料
11楼2017-05-12 10:30:44
yswyx 
专家顾问 (著名写手)
-
专家经验: +651 - MN-EPI: 8
- 应助: 807 (博后)
- 贵宾: 0.204
- 金币: 2618.9
- 散金: 6018
- 红花: 112
- 帖子: 2705
- 在线: 577.8小时
- 虫号: 446878
- 注册: 2007-10-30
- 性别: GG
- 专业: 半导体微纳机电器件与系统
- 管辖: 微米和纳米
2楼2014-12-25 03:46:36
czz_iecas
金虫 (初入文坛)
- 应助: 0 (幼儿园)
- 金币: 1242.4
- 帖子: 11
- 在线: 25.6小时
- 虫号: 3409223
- 注册: 2014-09-11
- 性别: GG
- 专业: 敏感电子学与传感器
3楼2014-12-25 09:02:23
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
4楼2014-12-25 09:15:12
20