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czz_iecas

金虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 1242.4
帖子: 11
在线: 25.6小时
虫号: 3409223
注册: 2014-09-11
性别: GG
专业: 敏感电子学与传感器

[求助] 聚酰亚胺薄膜去除方法已有3人参与

小虫做MEMS工艺的，其中一步需要旋涂聚酰亚胺薄膜保护器件，最后需要去除。一直使用的是干法RIE打氧去除，但是时间很长，所以想问一下有没有做过这方面实验的虫虫，能提供一些去除思路，未亚胺化和亚胺化之后的去除方法都可以，干法和湿法均可，希望去除效率高一些的。新人发帖，希望友好的虫虫们给力回复啊～十分感谢，奉上金币！

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]

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1楼 2014-12-24 17:06:29

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jackeywell

金虫 (初入文坛)

应助: 0 (幼儿园)
金币: 593.5
帖子: 12
在线: 14.7小时
虫号: 3064550
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性别: GG
专业: 半导体晶体与薄膜材料

【答案】应助回帖

浓硫酸双氧水可以

11楼2017-05-12 10:30:44

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

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