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邱林俊

银虫 (初入文坛)

[求助] 请问四探针测的电阻如何转换为电阻率。 已有2人参与

我用四探针法测得了薄膜的方块电阻,膜厚100nm,方块5mm*5mm,请问如何得到该材料的电阻率。计算公式如何。
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cc250

木虫 (正式写手)

引用回帖:
6楼: Originally posted by 邱林俊 at 2014-12-24 13:59:02
顺便请教一下,跟我所测基片形状大小应该没关吧?只要四个探针是方块就行了吗?...

与基片的形状无关,但是和基片大小略有关系,我觉得有1.5*1.5厘米,就可以了。相关文献也是这么个尺寸。
无不良史
7楼2014-12-25 08:17:40
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与,应助指数 +1
邱林俊: 金币+10 2014-12-24 08:47:20
记得薄膜的方块电阻R=ρ/δ,其中,ρ为电阻率,δ为膜的厚度。
2楼2014-12-23 22:45:02
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邱林俊

银虫 (初入文坛)

引用回帖:
2楼: Originally posted by peterflyer at 2014-12-23 22:45:02
记得薄膜的方块电阻R=ρ/δ,其中,ρ为电阻率,δ为膜的厚度。

与方块的大小没关系吗?
3楼2014-12-24 08:46:14
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peterflyer

木虫之王 (文学泰斗)

peterflyer


【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by 邱林俊 at 2014-12-24 08:46:14
与方块的大小没关系吗?...

方块电阻应该只与厚度有关系。这方面的内容可参考镀膜方面的书籍。
4楼2014-12-24 08:49:19
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