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台阶仪与干涉仪的区别！ 已有7人参与
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现在想测二氧化钛膜厚，要经常测量，SEM太贵，制样麻烦，所以想找个方便又经济的方法，翻看了小木虫以前的贴子，发现台阶仪与干涉仪可测膜厚，但： 1、两者有啥区别？台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊！ 2、还有制样是不是都要做台阶？ 3、另外价格，我的膜厚大约100－2000nm，用哪种便宜又能达到我的测量要求？ 4、还有一个问题：好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚，它与干涉仪又有何不同？ |
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台阶仪式在薄膜厚度起伏处，利用一个针尖扫过的样品表面的针尖感受的差别反应的厚度信息，一般都是在用确定厚度的标准样校准后来测试未知样品厚度，厚度信息相对比较真实，且对材料本身的性质依赖度不高； 干涉仪类似的则是利用材料本身的光学性质来探测不同厚度的薄膜，说白了就是和薄膜材料的性质有关，不同工艺的材料会有差别；建立相关的薄膜模型，通过后期的拟合获得厚度信息。是一种不需破坏样品的无损测试厚度方法，厚度真实度依赖于经验和方法； 此外，如果要求更高或者发paper的话，AFM是一个最为客观的、也是大家公认的直观表征薄膜厚度的方法，同台阶仪一样，样品上也是需要有台阶；当然，楼主的样品厚度较大，一般台阶仪的精度完全胜任。 |
7楼2014-12-23 20:59:20
8楼2014-12-23 21:48:45
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lilihot: 金币+3 2014-12-26 15:35:49
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您说的【台阶仪准确度高这一点】，我不知道你从哪得来的这一观点。 首先，告诉你个事实：关于膜厚仪器，校验机构使用椭偏仪进行标定，而椭偏仪使用的就是光学的原理，所以光学测量的准确度当然优越于台阶仪。 其次，再说下真实性的问题，你说台阶仪测量是物体表面真实体现，这一点我很认同，但是台阶仪真实体现的是被接触之后的薄膜面貌，误差较大，与真值偏离较远，所以主流测量使用的是非接触的。 最后，我再重点说下光学测量的真实性问题，只要是测量过程就会出现误差，怎么将误差降到最低，得到最佳的真值，这就需要大量的样品数据支持，进而进行数据拟合，得到真值。 PS：两者的应用范围 台阶仪：适用于企业单位，对准确性要求不高，价格便宜； 干涉仪：适用于高校和研究院所，准确性较高，价格较高。 |
9楼2014-12-23 21:59:30
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