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台阶仪与干涉仪的区别！ 已有7人参与
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现在想测二氧化钛膜厚，要经常测量，SEM太贵，制样麻烦，所以想找个方便又经济的方法，翻看了小木虫以前的贴子，发现台阶仪与干涉仪可测膜厚，但： 1、两者有啥区别？台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊！ 2、还有制样是不是都要做台阶？ 3、另外价格，我的膜厚大约100－2000nm，用哪种便宜又能达到我的测量要求？ 4、还有一个问题：好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚，它与干涉仪又有何不同？ |
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