| 查看: 2507 | 回复: 14 | ||
[求助]
台阶仪与干涉仪的区别！ 已有7人参与
|
||
|
现在想测二氧化钛膜厚，要经常测量，SEM太贵，制样麻烦，所以想找个方便又经济的方法，翻看了小木虫以前的贴子，发现台阶仪与干涉仪可测膜厚，但： 1、两者有啥区别？台阶仪好象也是利用光的干涉原理啊！ 2、还有制样是不是都要做台阶？ 3、另外价格，我的膜厚大约100－2000nm，用哪种便宜又能达到我的测量要求？ 4、还有一个问题：好象有一种干涉显微镜6JA也可以测膜厚，它与干涉仪又有何不同？ |
回复此楼» 猜你喜欢
温州大学2026年招生（化学、材料）
已经有10人回复
-
招生负责_院士团队_学生高自由度成长_擅长学生培养
已经有5人回复
-
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有236人回复
-
温州大学招收2026年入学博士研究生（化学、材料、环境）
已经有10人回复
-
非晶合金
已经有2人回复
-
院士团队-每届学生都优秀-高自由度-团队氛围好
已经有0人回复
-
求调剂
已经有3人回复
-
化工学院（学院正式调剂群+联系方式）
已经有0人回复
-
化工学院（学院官方群）-院士团队招生-学生自由度高-培养模式成熟高效
已经有0人回复
-
黑龙江大学分析化学招调剂
已经有0人回复
-
武汉高校国家级人才团队招收材料，化学，纺织等专业硕士调剂生
已经有24人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 自己搭建的光纤马赫增德尔干涉仪，ASE作为光源，测干涉时发现干涉光谱向长波长移动？
已经有13人回复
- 关于超导量子干涉仪
已经有14人回复
- 江湖救急。磁控溅射的膜厚测量问题！
已经有17人回复
- 求助、求助。谢谢各位——测电仿薄膜厚度和电仿纤维膜微孔面积测量
已经有3人回复
- 请教一个关于迈克尔逊干涉仪的问题-异常等倾干涉
已经有6人回复
- 关于激光干涉仪和平面反射镜的使用
已经有9人回复
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
2楼2014-12-23 15:00:09
babyoflion
金虫 (著名写手)
- 应助: 183 (高中生)
- 金币: 4776.5
- 散金: 301
- 红花: 30
- 帖子: 2507
- 在线: 671.9小时
- 虫号: 2297725
- 注册: 2013-02-25
- 性别: GG
- 专业: 光学
6楼2014-12-23 20:25:20
3楼2014-12-23 15:28:41
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
4楼2014-12-23 15:32:57
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
5楼2014-12-23 15:38:28
xiangan315
至尊木虫 (文坛精英)
- 应助: 4 (幼儿园)
- 金币: 44228.2
- 红花: 15
- 帖子: 12505
- 在线: 1176小时
- 虫号: 573241
- 注册: 2008-06-13
- 专业: 半导体电子器件
【答案】应助回帖
★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+5 2014-12-26 15:35:32
感谢参与，应助指数 +1
lilihot: 金币+5 2014-12-26 15:35:32
|
台阶仪式在薄膜厚度起伏处，利用一个针尖扫过的样品表面的针尖感受的差别反应的厚度信息，一般都是在用确定厚度的标准样校准后来测试未知样品厚度，厚度信息相对比较真实，且对材料本身的性质依赖度不高； 干涉仪类似的则是利用材料本身的光学性质来探测不同厚度的薄膜，说白了就是和薄膜材料的性质有关，不同工艺的材料会有差别；建立相关的薄膜模型，通过后期的拟合获得厚度信息。是一种不需破坏样品的无损测试厚度方法，厚度真实度依赖于经验和方法； 此外，如果要求更高或者发paper的话，AFM是一个最为客观的、也是大家公认的直观表征薄膜厚度的方法，同台阶仪一样，样品上也是需要有台阶；当然，楼主的样品厚度较大，一般台阶仪的精度完全胜任。 |
7楼2014-12-23 20:59:20
8楼2014-12-23 21:48:45
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
【答案】应助回帖
★ ★ ★
lilihot: 金币+3 2014-12-26 15:35:49
lilihot: 金币+3 2014-12-26 15:35:49
|
您说的【台阶仪准确度高这一点】，我不知道你从哪得来的这一观点。 首先，告诉你个事实：关于膜厚仪器，校验机构使用椭偏仪进行标定，而椭偏仪使用的就是光学的原理，所以光学测量的准确度当然优越于台阶仪。 其次，再说下真实性的问题，你说台阶仪测量是物体表面真实体现，这一点我很认同，但是台阶仪真实体现的是被接触之后的薄膜面貌，误差较大，与真值偏离较远，所以主流测量使用的是非接触的。 最后，我再重点说下光学测量的真实性问题，只要是测量过程就会出现误差，怎么将误差降到最低，得到最佳的真值，这就需要大量的样品数据支持，进而进行数据拟合，得到真值。 PS：两者的应用范围 台阶仪：适用于企业单位，对准确性要求不高，价格便宜； 干涉仪：适用于高校和研究院所，准确性较高，价格较高。 |
9楼2014-12-23 21:59:30
石银东
木虫 (正式写手)
- 应助: 139 (高中生)
- 金币: 6411.1
- 散金: 411
- 红花: 36
- 帖子: 927
- 在线: 909.6小时
- 虫号: 3564733
- 注册: 2014-11-28
- 专业: 数论
10楼2014-12-23 22:04:46
